Two-Dimensional Superconductivity at Titanium Oxide Interfaces

Oxydes de structure Pรฉrovskite

ย  ย Les oxydes de structure Pรฉrovskite reprรฉsentent une vaste famille de composรฉs aux propriรฉtรฉs extrรชmement diversifiรฉes. Leur formule gรฉnรฉrale est ABO3, A et B reprรฉsentant des cations. La structure idรฉale est cubique, les ions B รฉtant situรฉs aux sommets du cube et les anions dโ€™oxygรจne au centre des arรชtes, formant un octaรจdre autour de lโ€™ion B. Lโ€™ion A est au centre du cube en coordinence 12 avec les oxygรจnes (figure 1.1).ย  Chaque cation B est entourรฉ dโ€™un octaรจdre dโ€™oxygรจne. Un des octaรจdres est reprรฉsentรฉ en grisรฉ. La structure est en gรฉnรฉral fortement ionique, les ions oxygรจnes portant une charge formelle โˆ’2 et les cations une charge formelle vรฉrifiant QA + QB = +6. Le grand nombre de possibilitรฉs pour les combinaisons (A, B) diversifie le spectre des propriรฉtรฉs prรฉsentes dans la structure Pรฉrovskite. La structure cubique ou pseudo-cubique commune permet รฉgalement dโ€™รฉlargir ce spectre en facilitant les dopages non stล“chiomรฉtriques des sites A et B. Parmi les choix possibles pour le composรฉ B, les mรฉtaux de transition sont particuliรจrement intรฉressants de par leur aptitude ร  accepter plusieurs degrรฉs dโ€™ionisation, facilitant leur dopage chimique et รฉlectrostatique. En particulier, les composรฉs de la premiรจre ligne de mรฉtaux de transition prรฉsentent des phases รฉlectroniques fortement corrรฉlรฉes, comme des isolants de Mott ou des isolants de transfert de charge, dues au remplissage des souscouches 3d en environnement octaรฉdrique :
โ€“ Pour les mรฉtaux situรฉs ร  gauche du bloc d (comme le titane et le vanadium), lโ€™รฉtat รฉlectronique est contrรดlรฉ par le remplissage des sous-couches t2g qui sont bien sรฉparรฉes des orbitales p des atomes dโ€™oxygรจne. Lโ€™รฉnergie de rรฉpulsion Coulombienne U est grande devant la largeur de bande W donnant un รฉtat isolant de type Mott (comme par exemple LaTiO3).
โ€“ Du cotรฉ droit du bloc d, les oxydes de mรฉtaux comme le nickel et le cuivre ont de fortes hybridations p โˆ’ d donnant lieu ร  des isolants de transfert de charge (comme par exemple LaNiO3 [48]).
โ€“ Les dopages chimiques de ces phases รฉlectroniques ont montrรฉ lโ€™existence de transitions mรฉtal-isolant, comme le montre la figure 1.2 (extraite de [41]).

Structure รฉlectronique

ย  ย Le titanate de strontium est un isolant avec une large bande interdite dโ€™environ 3.2 eV. La bande de conduction est principalement constituรฉe des orbitales t2g du titane (3dxy, 3dyz et 3dxz) alors que la bande de valence provient des orbitales 2p de lโ€™oxygรจne[75]. Lโ€™anisotropie des orbitales t2g donne une gรฉomรฉtrie particuliรจre ร  la bande de conduction. En effet, le recouvrement des orbitales dans le plan de mรชme dรฉnomination (par exemple le recouvrement dans le plan (xy) des orbitales 3dxy) est beaucoup plus grand que dans la direction perpendiculaire (pour le mรชme exemple la direction z) comme schรฉmatisรฉ dans la figure 1.5. Il en rรฉsulte une anisotropie des masses effectives au point ฮ“, la masse dans le plan รฉtant petite alors que la masse perpendiculaire est 10 ร  20 fois plus grande. Les masses effectives rรฉpertoriรฉes dans la littรฉrature varient de 0.5 ร  1.5 m0 pour lamasse lรฉgรจre selon les รฉtudes et les techniques de mesures : la masse mesurรฉe par oscillations quantiques dans du SrTiO3 ฮด-dopรฉ est de lโ€™ordre de 1.2 ร  1.5 m0[61], alors que la masse trouvรฉe par photo-รฉmission rรฉsolue en angle de la surface clivรฉe est de 0.5 ร  0.7 m0[103, 76].

Conditions de croissance et conductivitรฉ

ย  ย La croissance des hรฉtรฉrostructures de LaAlO3/SrTiO3 se fait ร  partir de substrats monocristallins de SrTiO3 orientรฉs [001], dont la surface peut รชtre prรฉparรฉe chimiquement pour sรฉlectionner le plan de terminaison TiO2 ou SrO. Les substrats traitรฉs montrent des terrasses atomiquement planes de quelques centaines de nanomรจtres de large et dโ€™une unitรฉ cellulaire de hauteur. La croissance se fait ensuite par ablation laser pulsรฉe (en anglais Pulsed Laser Deposition ou PLD) [91]. Depuis la dรฉcouverte du gaz dโ€™รฉlectrons ร  lโ€™interface LaAlO3/SrTiO3, plusieurs propriรฉtรฉs importantes ont รฉtรฉ montrรฉes :
โ€“ Le comportement รฉlectronique des interfaces nโ€™est pas symรฉtrique par rapport ร  la terminaison du substrat de SrTiO3, les interfaces partant dโ€™une couche SrO (dites p) sโ€™รฉtant rรฉvรฉlรฉes isolantes alors que celles terminรฉes TiO2 (dites n) sont mรฉtalliques.
โ€“ La pression en oxygรจne pendant la croissance est un paramรจtre crucial qui contrรดle les propriรฉtรฉs รฉlectroniques de lโ€™interface : les couches รฉpitaxiรฉes sous trรจs basse pression dโ€™oxygรจne (< 10โˆ’5 mbar) sont trรจs conductrices et mรฉtalliques jusquโ€™ร  basse tempรฉrature, alors que les couches รฉpitaxiรฉes sous des pressions plus รฉlevรฉes ont des rรฉsistances plus grandes et un comportement de localisation faible ร  basse tempรฉrature, comme le montre la figure 1.8 (extraite de [17]). Des mesures de la topographie de la rรฉsistivitรฉ par AFM ร  pointe conductrice sur la tranche dโ€™une hรฉtรฉrostructure ont montrรฉ que dans le premier cas, la zone conductrice sโ€™รฉtend sur plusieurs centaines de nanomรจtres dans le SrTiO3, la conduction รฉtant vraisemblablement liรฉe ร  un dopage en masse par lacunes dโ€™oxygรจne[6]. Dans le second cas, la zone conductrice est localisรฉe sur quelques nanomรจtres et prรฉsente un caractรจre bi-dimensionnel.

Origine du gaz : la catastrophe polaire

ย  ย Le modรจle de catastrophe polaire est lโ€™un des modรจles proposรฉs pour expliquer lโ€™origine du gaz dโ€™รฉlectrons[84]. Lโ€™interface entre LaAlO3 et SrTiO3 peut รชtre dรฉcrite comme un empilement de couches atomiques de TiO2 et de SrO puis de AlO2 et de LaO. Chaque plan dans le SrTiO3 est intrinsรจquement neutre : dans les plans TiO2, les ions de titane portant une charge formelle 4+ compensent les deux charges 2โˆ’ des ions dโ€™oxygรจne ; et dans les plans SrO, la charge 2+ des ions de strontium compensent celle des ions dโ€™oxygรจne. En revanche, la neutralitรฉ รฉlectrique nโ€™est pas conservรฉe plan par plan dans le LaAlO3 : les plans AlO2 sont chargรฉs โˆ’1 et les plans LaO sont chargรฉs +1, la neutralitรฉ est donc seulement conservรฉe ร  lโ€™รฉchelle de la cellule รฉlรฉmentaire. Il y a donc, ร  lโ€™interface LaAlO3/SrTiO3 un saut de polaritรฉ, positif ou nรฉgatif suivant la terminaison SrO ou TiO2 du substrat de SrTiO3. Dโ€™aprรจs les lois fondamentales de lโ€™รฉlectrostatique, il y a donc une croissance du potentiel รฉlectrique ร  mesure que le nombre de couches polarisรฉes augmente, comme illustrรฉ dans la figure 1.9 (extraite de [84]). La croissance du potentiel est dรฉfavorable รฉnergรฉtiquement et le systรจme contourne ce problรจme en compensant le saut de polaritรฉ.

LaTiO3/SrTiO3

ย  ย La croissance des รฉchantillons de LaTiO3/SrTiO3 a รฉtรฉ effectuรฉe par A. Kushwaha, A.Rastogi, et R.C. Budhani (Indian Institute of technology, Kanpur, Inde) par dรฉposition laser pulsรฉe (PLD) avec un laser excimer. La croissance se fait ร  partir de monocristaux de SrTiO3 accessibles commercialement (CrysTec GmbH Allemagne). Les cristaux orientรฉs (001) ont reรงus un traitement dโ€™acide fluorhydrique tamponnรฉ pour exposer une terminaison TiO2 [65]. Les substrats sont ensuite collรฉs sur le porte-รฉchantillon chauffant de lโ€™appareil de PLD et chauffรฉs entre 850 et 900หšC sous une atmosphรจre de 0.260 mbar (200 mTorr) dโ€™oxygรจne pour rรฉaliser la reconstruction de surface. La source de LaTiO3 est un bloc de 22 mm de diamรจtre de LaTiO3 stล“chiomรฉtrique. Lโ€™ablation laser a รฉtรฉ effectuรฉe sous une pression partielle dโ€™oxygรจne de 1.3 ร— 10โˆ’4 mbar (10โˆ’4 Torr) avec une รฉnergie de โˆผ 1 J/cm2 par impulsion ร  une frรฉquence de rรฉpรฉtition de 3 Hz pour rรฉaliser un taux de croissance de 0.12 ร…/s. La caractรฉrisation par rayons-X montre la bonne croissance de la phase LaTiO3 sur le substrat de SrTiO3 (figure 2.1). Lโ€™รฉpaisseur de la couche de LaTiO3 des รฉchantillons est nominalement donnรฉe par le taux de croissance et le temps de dรฉposition. Un รฉchantillon de 10 u.c. a รฉtรฉ caractรฉrisรฉ par microscopie รฉlectronique ร  transmission (TEM) par F. Pailloux et J. Pacaud (Institut Pprime, UPR3346 CNRS/Universitรฉ de Poitiers, France). Les clichรฉs TEM (figure 2.2 ) montrent รฉgalement que la croissance est รฉpitaxiale et que la rugositรฉ de lโ€™interface est dโ€™environ une maille รฉlรฉmentaire. En revanche la surface et lโ€™รฉpaisseur de LaTiO3 semblent inhomogรจnes.

LaAlO3/SrTiO3

ย  ย Les รฉchantillons de LaAlO3/SrTiO3 ont รฉtรฉ รฉgalement รฉpitaxiรฉs par PLD par N. Reyren et E. Lesne dans lโ€™รฉquipe dโ€™A. Barthรฉlรฉmy et M. Bibes(UMR CNRS-Thalรจs, Palaiseau, France). Les substrats de SrTiO3 orientรฉs (001) (Crystec ou SurfaceNet) ont reรงu un traitement dโ€™acide fluorhydrique et de recuit, comme dรฉcrit prรฉcรฉdemment, pour exposer les terrasses de TiO2. Le substrat est maintenu ร  une tempรฉrature de 730หšC pendant la croissance. La source de LaAlO3 est un monocristal ablatรฉ par un laser excimer KrF (248 nm) ร  une frรฉquence de rรฉpรฉtition de 1 Hz et une รฉnergie de fluence comprise entre 0.6 et 1.2 J/cm2 . La croissance est effectuรฉe sous une atmosphรจre dโ€™oxygรจne de 2 ร— 10โˆ’4 mbar. Le suivi en temps rรฉel par RHEED (diffraction par rรฉflexion dโ€™รฉlectrons ร  haute รฉnergie) permet de contrรดler la croissance qui sโ€™effectue couche par couche ร  la maille รฉlรฉmentaire prรจs. La source est ร  environ 57 mm du substrat, ce qui donne une vitesse de croissance dโ€™environ 0.2 ร…/s. Aprรจs la croissance du film, lโ€™รฉchantillon est refroidi ร  500หšC sous une pression dโ€™oxygรจne de 0.1 mbar. ร€ cette tempรฉrature la pression dโ€™oxygรจne est augmentรฉe jusquโ€™ร  400 mbar puis maintenue pendant 30 minutes pour rรฉduire la prรฉsence de lacunes dโ€™oxygรจne. Lโ€™รฉchantillon est ensuite refroidi ร  tempรฉrature ambiante. Les clichรฉs par microscopie ร  force atomique (AFM) de la surface avant et aprรจs dรฉposition (Figure 2.3) montrent des marches dont la hauteur correspond ร  une maille รฉlรฉmentaire de SrTiO3. La largeur des terrasses est typiquement de 300 nm ce qui correspond ร  un dรฉfaut dโ€™angle de polissage de la surface de moins de 0.1 degrรฉ.

Suppression des porteurs de haute mobilitรฉ ร  grille nรฉgative

ย  ย Lโ€™application dโ€™une tension รฉlectrostatique entre le gaz dโ€™รฉlectrons et une รฉlectrode (grille) mรฉtallique permet de contrรดler la densitรฉ de porteurs dans le gaz par effet capacitif, le gaz lui-mรชme faisant office dโ€™รฉlectrode du condensateur. La grille mรฉtallique รฉvaporรฉe au dos du substrat de SrTiO3 (voir chapitre 2) permet donc de contrรดler la densitรฉ du gaz en utilisant le substrat comme diรฉlectrique. Dans cette gรฉomรฉtrie, un รฉchelon positif de tension de grille ajoute des รฉlectrons dans le gaz, alors quโ€™un saut nรฉgatif retire des รฉlectrons. Nous nous intรฉresserons tout dโ€™abord aux propriรฉtรฉs de transport du gaz en fonction de la tension de grille en partant dโ€™une grille positive maximale (VG = +200 V) vers les tensions de grille nรฉgatives pour diminuer la densitรฉ de porteurs. La premiรจre application ร  froid dโ€™une tension de grille est en effet un phรฉnomรจne ร  part dรฉcrit dans la prochaine sous-section. La figure 3.6 montre les mesures de rรฉsistance ร  basse tempรฉrature de lโ€™รฉchantillon LTO-15ucAxx ร  diffรฉrentes tensions de grilles, en partant de la tension maximale VG = +200 V. La rรฉsistance augmente lorsque la tension de grille est diminuรฉe, ce qui est, en premiรจre approximation, signe que la densitรฉ de porteurs du gaz diminue, conformรฉment au modรจle รฉlectrostatique de charge du condensateur. La supraconductivitรฉ aux basses tempรฉratures est รฉgalement contrรดlรฉe par la tension de grille, lโ€™รฉtat fondamental รฉtant supraconducteur ร  tensions de grille positives et isolant (รฉtat mรฉtallique localisรฉ) ร  tensions de grille nรฉgatives. Lโ€™รฉtude de la transition supraconducteur-isolant sera dรฉtaillรฉe au chapitre 4. La figure 3.7 rรฉcapitule les donnรฉes de rรฉsistance dans lโ€™รฉtat normal (450 mK) et la tempรฉrature critique de supraconductivitรฉ, dรฉfinie ici comme รฉtant la tempรฉrature ร  laquelle la rรฉsistance ร  chutรฉ de 15% par rapport ร  lโ€™รฉtat normal. Un comportement singulier au voisinage de VG = 0 V apparaรฎt clairement sur la courbe de rรฉsistance et semble concomitant avec la disparition de la supraconductivitรฉ (la disparition de la supraconductivitรฉ sera traitรฉe dans le chapitre 4). Un tel comportement de la rรฉsistance avec la tension de grille ne peut sโ€™expliquer par un simple modรจle de Drude prenant en compte la variation de densitรฉ de porteurs avec la tension de grille.

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Table des matiรจres

Introduction
1 Oxydes et Hรฉtรฉrostructuresย 
1.1 Oxydes de structure Pรฉrovskiteย 
1.1.1 Titanate de strontium : SrTiO3
Structure
Paraรฉlectrique quantique et ferroรฉlectricitรฉ incipiente
Structure รฉlectronique
SrTiO3 dopรฉ et supraconductivitรฉ
1.1.2 Titanate de lanthane : LaTiO3
Structure cristalline
Lโ€™isolant de Mott
Antiferromagnรฉtisme
1.1.3 Aluminate de lanthane : LaAlO3
1.2 Hรฉtรฉrostructures dโ€™oxydesย 
1.2.1 LaAlO3/SrTiO3
Conditions de croissance et conductivitรฉ
Origine du gaz : la catastrophe polaire
Propriรฉtรฉs รฉlectroniques du gaz dโ€™รฉlectrons
1.2.2 LaTiO3/SrTiO3
1.2.3 Autres hรฉtรฉrostructures ร  base de SrTiO3
LaGaO3/SrTiO3
LaVO3/SrTiO3
GdTiO3/SrTiO3
1.2.4 La surface de SrTiO3
SrTiO3 irradiรฉ en surface
SrTiO3 dopรฉ en surface par รฉlectrode ร  liquide ionique
2 Partie Expรฉrimentaleย 
2.1 Croissance et prรฉparation des รฉchantillonsย 
2.1.1 LaTiO3/SrTiO3
2.1.2 LaAlO3/SrTiO3
2.1.3 Prรฉparation des รฉchantillons
2.2 Systรจmes de mesures
2.2.1 Mesures de Rรฉsistivitรฉ
2.2.2 Mesures de Capacitรฉ
2.2.3 Cryostats utilisรฉs
Cryostat ร  dilution
Mesures en champ magnรฉtique pulsรฉ
Mesures en angle (PPMS)
3 ร‰tude et contrรดle รฉlectrostatique de lโ€™รฉtat normalย 
3.1 Rรฉsistivitรฉ et nombre de porteurs
3.1.1 Comportement de type liquide de Fermi
3.1.2 Effet Hall et densitรฉ de porteurs
3.1.3 Effet Hall ร  haut champ magnรฉtique
3.2 Contrรดle รฉlectrostatique du nombre de porteur et irrรฉversibilitรฉย 
3.2.1 Suppression des porteurs de haute mobilitรฉ ร  grille nรฉgative
Effet Hall ร  haut champ magnรฉtique
Mesure de capacitรฉ et densitรฉ de porteur totale
Comportement en tempรฉrature
Anisotropie
3.2.2 Irrรฉversibilitรฉ lors de lโ€™application dโ€™une grille positive
Saturation apparente de la rรฉsistance et de la densitรฉ de porteur
Asymรฉtrie de polarisation
ร‰tude de la dynamique de fuite des รฉlectrons
Modรจle de fuite thermique des รฉlectrons
Validation expรฉrimentale du modรจle
Irrรฉversibilitรฉ ร  lโ€™interface LaAlO3/SrTiO3
3.3 Modรจle de courbure de la bande de conduction du SrTiO3
Position du problรจme
Rรฉsolution numรฉrique
Importance des charges piรฉgรฉes
Rรฉsultats des calculs
Discussion
4 Supraconductivitรฉย 
4.1 Supraconductivitรฉ bi-dimensionnelleย 
4.1.1 Analyse BKT de la transition supraconductrice
4.1.2 Analyse BKT-GL et inhommogรฉnรฉitรฉs
4.1.3 Saut de densitรฉ superfluide
4.2 Contrรดle รฉlectrostatique de la transition supraconductrice
4.3 Transition de phase quantique supraconducteur-isolant et comportement critique
4.3.1 Les transitions de phase quantique
4.3.2 Application ร  la transition en champ magnรฉtique
Tensions de grille positives
Tensions de grille nรฉgatives
Diagramme de phase des champs critiques
Scรฉnario de flaques supraconductrices
4.3.3 Transition quantique induite par la tension de grille
5 Couplage Spin-Orbiteย 
5.1 Localisation faibleย 
5.1.1 Rupture du comportement semi-classique ร  basse tempรฉrature
5.1.2 Interfรฉrences quantiques et rรฉtro-diffusion
5.1.3 Comportement en tempรฉrature
5.2 Magneto-transportย 
5.2.1 Magnรฉtorรฉsistance des mรฉtaux
5.2.2 Magnรฉtorรฉsistance en rรฉgime de localisation faible
5.2.3 Influence du couplage spin-orbite
5.2.4 Magnรฉto-transport mesurรฉ en fonction de la tension de grille
5.2.5 Origine du couplage spin-orbite
Relaxation de type Elliot-Yafet
Relaxation de type Dโ€™Yakonov-Perelโ€™
Rashba
5.3 Dรฉpendance angulaire de la magnรฉtorรฉsistanceย 
5.4 Rรฉsumรฉ et conclusions sur la magnรฉtorรฉsistance
Conclusions et Perspectives
Bibliographie

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