STMicroelectronics et la technologie photonique
STMicroelectronics (ST) se positionne comme lโun des leaders mondiaux des fabricants de semi-conducteurs. ST fournit ร ses clients des solutions innovantes pour tous les secteurs dโapplications de lโรฉlectronique et couvre notamment les marchรฉs du ยซ nouvel Internet ยป. La sociรฉtรฉ est impliquรฉe dans le dรฉveloppement du ยซ smart driving ยป, ยซ smart home and city ยป, ยซ smart things ยป et ยซ smart industryยป comme illustrรฉ ร la Figure 0.1. Par exemple, des produits phares dรฉveloppรฉs par ST incluent lโaide ร la conduite des voitures, le contrรดle du chauffage et de lโรฉnergie des maisons, la gestion de lโรฉclairage dโune ville, le dรฉploiement de la rรฉalitรฉ virtuelle, les communications entre machines ou homme โ machine dโune chaรฎne de production, etcโฆ Lโarrivรฉe de ces nouvelles technologies est permise par lโรฉvolution des datacenters et le dรฉveloppement du cloud computing. ST cherche donc รฉgalement ร apporter des solutions pour dรฉployer les rรฉseaux de communications efficacement. En effet, nous assistons actuellement ร une explosion du trafic de donnรฉes รฉchangรฉes, accompagnรฉe dโune rรฉorganisation de lโarchitecture des datacenters afin de supporter des densitรฉs de bande passante trรจs รฉlevรฉes.
La technologie photonique consiste ร gรฉnรฉrer, traiter, transmettre et dรฉtecter un signal de donnรฉes oรน ce signal est portรฉ par la lumiรจre (les photons). La photonique sur silicium utilise les procรฉdรฉs standards de la microรฉlectronique pour fabriquer les composants optiques en silicium. Cette technologie permet potentiellement dโapporter des solutions aux problรฉmatiques des datacenters car les communications optiques permettent de dรฉpasser les limitations des interconnexions รฉlectriques. Cโest dans ce cadre que STMicroelectronics dรฉveloppe depuis 2012 sa plateforme photonique, appelรฉe PIC25G (Photonic Integrated Circuit 25 Gbps), ร partir dโune collaboration avec Luxtera. Lโoffre en termes de composants รฉlรฉmentaires passifs et actifs est relativement large mais il sโagit maintenant dโassurer la montรฉe en maturitรฉ de ces composants pour permettre la production de la technologie. Une seconde plateforme, nommรฉe PIC50G (Photonic Integrated Circuit 50 Gbps), est รฉgalement dรฉveloppรฉe depuis 2017 en partenariat avec le CEA-LETI et Finisar. Elle permet dโadresser de nouvelles fonctionnalitรฉs ainsi que des vitesses de communications plus รฉlevรฉes . La technologie PIC50G permet plus de flexibilitรฉ sur le design des composants car elle intรจgre diffรฉrentes formes de guides dโonde ainsi que des guides en nitrure de silicium. De plus, le couplage des fibres optiques peut รชtre rรฉalisรฉ par couplage adiabatique ce qui permet un transfert de la lumiรจre sur une large bande passante (100 nm) comparรฉ au couplage par la surface avec des rรฉseaux (GC grating coupler) (30 nm).
Les produits actuels dรฉveloppรฉs par STMicroelectronics sont essentiellement des modules 100 Gb/s, basรฉs sur les normes MSA (Multi Source Agreement) et le facteur de forme QSFP28 (Quad Small Form-factor Pluggable). Ils sont issus de la technologie PIC25G qui est depuis 2016 une rรฉalitรฉ industrielle. La technologie PIC50G est, quant ร elle, encore au stade de la R&D. Ces produits sont destinรฉs aux communications longue distance prรฉsentes dans un datacenter. Mais, la photonique est รฉgalement attendue pour dโautres types de communications avec lโintroduction de lโinterposeur photonique pour les รฉquipements et infrastructures des rรฉseaux de la prochaine gรฉnรฉration. Si la stratรฉgie dโintรฉgration envisagรฉe dรจs 2012 est un assemblage 3D entre les puces รฉlectrique et optique, lโintรฉgration est amenรฉe ร se complexifier au fur et ร mesure du dรฉveloppement de la technologie. En effet, les prochains modules embarqueront directement les IP photoniques (le circuit optique OIC et le circuit รฉlectrique associรฉ EIC) au plus proche de lโASIC (Application-Specific Integrated Circuit) ce qui permettra dโamรฉliorer les performances globales des communications optiques.
Dรฉveloppement dโune IP pour les modules front panel
Les modules front panel basรฉs sur les accords MSA constituent lโobjectif ร court โ moyen terme de STMicroelectronics. Ces modules sont destinรฉs aux communications ร longue distance au sein dโun datacenter (de 100 m ร 1 km environ) et sont composรฉs dโun transceiver รฉlectro-optique permettant les conversions EO (รฉlectrique โ optique) et OE (optique โ รฉlectrique). Lโarchitecture du module front panel est ainsi relativement simple et ne comprend quโune puce optique (OIC : modulateur et photodiode) et une puce รฉlectrique (EIC : driver et amplificateur transimpรฉdance (TIA)) servant au contrรดle des composants photoniques. Les deux puces sont intรฉgrรฉes par une mรฉthode 3D comme un assemblage flip-chip.
Actuellement ST produit et vend des modules 100G et 200G mais des modules 400G sont envisagรฉs pour suivre lโรฉvolution des standards et rester compรฉtitif sur ce marchรฉ. Comme nous le dรฉcrirons dans le chapitre suivant, ces transceivers 400G nรฉcessitent de dรฉvelopper des composants de base ร un dรฉbit de 50 Gb/s, supportant des formats de modulation PAM4 (Pulse Amplitude Modulation) et du multiplexage spatial (PSM Parallel Single Mode) ou en longueur dโonde (WDM Wavelength Division Multiplexing).
Pour rรฉaliser ses circuits optiques, ST base essentiellement son expรฉrience sur les modulateurs de Mach-Zehnder. Ce sont donc ces composants qui seront dรฉveloppรฉs รฉgalement pour les modules 400G afin de capitaliser sur les conceptions prรฉcรฉdentes. Quant aux circuits รฉlectriques, la technologie phare de ST est actuellement le BiCMOS 55 nm pour les applications photoniques. Mais elle sera certainement amenรฉe ร รฉvoluer vers une technologie CMOS ou FDSOI (C28 ou 28FDSOI) pour les applications 400G afin de bรฉnรฉficier dโune meilleure efficacitรฉ รฉnergรฉtique.
Applications I/O optiques et interposeur photonique
Le dรฉveloppement des I/O optiques et lโintroduction dโun interposeur photonique constituent lโobjectif ร long terme de STMicroelectronics. Ces nouveaux modules seront รฉgalement destinรฉs aux communications intra-datacenter dans un premier temps. Mais ils pourront รฉvoluer trรจs facilement vers dโautres applications et notamment les communications ร courte distance entre deux puces, toutes deux intรฉgrรฉes sur lโinterposeur photonique (distance de quelques centimรจtres). Dans cette thรจse, nous nous intรฉresserons tout particuliรจrement aux interconnexions chip-to-chip et nous prendrons lโexemple dโun lien entre un processeur et un bloc mรฉmoire pour illustrer nos propos.
Lโinterposeur optique inclut un transceiver รฉlectro-optique pour les conversions EO et OE comme les modules front panel mais son architecture est celle dโun block multi-chip (MCM Multi-Chip Module) comprenant รฉgalement lโASIC principal, et รฉventuellement dโautres IP (Intellectual Property). Lโintรฉgration des diffรฉrentes puces est toujours rรฉalisรฉe par une mรฉthode 3D permettant dโempiler les puces. Deux architectures principales peuvent รชtre envisagรฉes. La premiรจre reprend lโarchitecture de base du module front panel et intรจgre lโASIC au plus proche de lโEIC. La seconde intรจgre directement lโEIC au sein de lโASIC pour ne constituer quโune seule puce. Ce niveau dโintรฉgration supรฉrieur pourrait permettre dโamรฉliorer les performances de lโinterconnexion.
Lโune des caractรฉristiques principales des I/O optiques est de pouvoir supporter des dรฉbits de transmission trรจs รฉlevรฉs. Lโoptimisation de la bande passante des interconnexions est alors rรฉalisรฉe en fonctions des technologies optique et รฉlectrique disponibles afin de minimiser la dissipation de puissance. Actuellement, nous estimons que le dรฉbit optimal des composants en termes dโรฉnergie est autour de 20 Gb/s mais les dรฉveloppements futurs pourraient permettre dโenvisager ร long terme un dรฉbit optimal de 50 Gb/s.
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Table des matiรจres
Introduction
0.1. STMicroelectronics et la technologie photonique
0.2. Motivations de la thรจse
0.2.1 Dรฉveloppement dโune IP pour les modules front panel
0.2.2 Applications I/O optiques et interposeur photonique
0.3. Objectifs de la thรจse
Chapitre 1 Etat de lโart
1.1. Modules MSA โ Communications ร longue distance
1.2. I/O optiques โ Communications chip-to-chip
1.2.1 I/O optiques
1.2.2 Interposeur photonique : exemple des technologies HMC et HBM
1.3. Transmetteurs 50 Gb/s
1.3.1. Modulateur optique
1.3.2. Driver รฉlectrique
1.3.3. Systรจme de transmission ร dรฉbit รฉlevรฉ
1.4. Intรฉgration hybride
Chapitre 2 Modรฉlisation des modulateurs รฉlectro-optiques
2.1. Modรฉlisation de la jonction PN
2.2. Le modulateur de Mach-Zehnder
2.2.1. Prรฉsentation gรฉnรฉrale du MZM
2.2.2. Exemple de caractรฉrisation dโun MZM
2.3. Le modulateur en anneau
2.3.1. Prรฉsentation gรฉnรฉrale du composant
2.3.2. Modรฉlisation de lโanneau : รฉquations du rรฉsonateur
2.3.3. Modรจle analytique du modulateur en anneau
2.3.4. Validation du modรจle โ Caractรฉrisation du spectre de transmission
2.4. Modรจle รฉlectrique des modulateurs รฉlectro-optiques
Chapitre 3 Conception des modulateurs en anneau
3.1. Optimisation de la bande passante pour des dรฉbits de 50 Gb/s
3.2. Conception des structures de tests
3.3. Caractรฉrisation expรฉrimentale
3.3.1. Caractรฉrisation optique statique
3.3.2. Mesures dynamiques
3.3.3. Caractรฉrisation RF et mesure de la bande-passante รฉlectro-optique
Chapitre 4 Conception du driver
4.1. Optimisation du compromis vitesse-รฉnergie
4.1.1. Architecture
4.1.2. Dimensionnement
4.1.3. Choix de la technologie
4.1.4. Conception et layout des circuits
4.1.5. Simulations
4.2. Mesures et rรฉtro-simulations
4.2.1. Structures de test
4.2.2. Montage expรฉrimental
4.2.3. Diagrammes de lโลil
4.2.4. Performance des drivers et comparaison avec lโรฉtat de lโart
4.3. Implรฉmentation de protections ESD
Chapitre 5 Co-intรฉgration รฉlectro-optique : Assemblage par wire-bonding
5.1. Etude systรจme โ Optimisation dโune interconnexion optique SDM
5.1.1. Architecture du lien SDM
5.1.2. Contraintes de bande passante et de surface
5.1.3. Optimisation de la consommation de puissance en fonction des performances du modulateur
5.2. Rรฉalisation dโun transmetteur hybride ร base de MZM
5.2.1. Intรฉgration hybride du driver et dโun modulateur de Mach-Zehnder
5.2.2. Cosimulations รฉlectro-optiques du transmetteur
5.2.3. Caractรฉrisation expรฉrimentale
5.3. Application des modules ร lโรฉtude de la fiabilitรฉ
Chapitre 6 Vers le dรฉveloppement dโun dรฉmonstrateur WDM, 20G, 3D
6.1. Etude systรจme โ Optimisation dโune interconnexion optique
6.1.1. Cadre de lโรฉtude โ Architecture du lien
6.1.2. Exemple du bilan de consommation dโรฉnergie ร 10 Gb/s
6.1.3. Optimisation du systรจme de transmission en fonction du dรฉbit unitaire
6.2. Lโassemblage par micro-piliers en cuivre
6.2.1. Analyse des phรฉnomรจnes thermomรฉcanique et photo-รฉlastique
6.2.2. Description du modรจle COMSOL
6.2.3. Rรฉsultats des simulations COMSOL
6.2.4. Conception des structures de tests
6.3. Simulations et conception des liens WDM
6.3.1. Thรฉorie sur les liens WDM
6.3.2. Simulation รฉlectro-optique des liens WDM : Estimation de la pรฉnalitรฉ de diaphonie
6.3.3. Conception des liens WDM pour le dรฉmonstrateur WDM
6.4. Conception du dรฉmonstrateur
Conclusion