ร partir des annรฉes 1980, le dรฉveloppement des nanosciences [Dre86] a permis lโobservation et la manipulation dโobjets de taille nanomรฉtrique. Cela a ouvert la voie ร une rรฉvolution technologique majeure. La fabrication, le contrรดle et la comprรฉhension des fonctionnalitรฉs des nano-objets est au cลur de la science du 21e siรจcle. Lโobjectif des nanosciences est de rechercher de nouvelles propriรฉtรฉs de la matiรจre tout en rรฉduisant les dimensions des dispositifs.
Parmi les diffรฉrents nanomatรฉriaux existants, nous nous intรฉressons aux nanocomposites, cโest-ร -dire aux systรจmes solides composรฉs de plusieurs constituants dont lโun a au moins une dimension nanomรฉtrique. Un exemple reprรฉsentatif en est donnรฉ par une couche mince contenant des nanoparticules (NPs). Mon travail sโest orientรฉ vers les matรฉriaux nanocomposites du type mรฉtal-silice, dont les propriรฉtรฉs sont conditionnรฉes par la taille, la forme, la concentration, la distribution spatiale et l’environnement chimique des NPs enfouies. Ce type de nanocomposites est intรฉressant en raison de ses propriรฉtรฉs optiques particuliรจres : plasmons, optique non linรฉaire, etc.
Aujourd’hui, il existe de nombreuses techniques permettant de fabriquer des nanocomposites [Aja03] en utilisant diffรฉrentes approches soit du type bottom-up โ citons la croissance des nanotubes de carbone par Chemical Vapor Deposition, ou la chimie colloรฏdale โ soit du type top-down โ comme la lithogravure qui inclut la photolithographie et lโรฉlectrolithographie pour lโรฉlectronique. Je me suis plus particuliรจrement intรฉressรฉ aux techniques utilisant les faisceaux dโions.
Le systรจme expรฉrimental est un nanocomposite constituรฉ de NPs dโor enfouies dans une matrice de silice amorphe. Dans le premier type dโexpรฉriences, notre systรจme a รฉtรฉ irradiรฉ par des ions dโor de 4 MeV alors que dans le second type lโirradiation est effectuรฉe avec des ions de krypton de 74 MeV.
Dans les expรฉriences dโirradiation aux ions dโor de 4 MeV, les NPs dโor รฉvoluent dans le rรฉgime de dรฉpรดt dโรฉnergie nuclรฉaire tandis que la silice รฉvolue dans les deux rรฉgimes de dรฉpรดt dโรฉnergie, nuclรฉaire et รฉlectronique. Lโirradiation crรฉe des cascades de dรฉplacements balistiques dans les NPs dโor et des dรฉfauts dans la silice. Ces effets dโirradiation amรจnent le systรจme dans un รฉtat hors dโรฉquilibre en favorisant la mise en solution des atomes dโor dans la matrice, cโest-ร -dire la dissolution des NPs. Au contraire, les effets thermiques ramรจnent le systรจme dans une configuration dโรฉquilibre stable. Ils รฉliminent une partie des dรฉfauts crรฉรฉs par lโirradiation et facilitent la diffusion des atomes de solutรฉ, ce qui conduit ร la nuclรฉation et ร la croissance de prรฉcipitรฉs.
Il nโexiste pas de modรจle thรฉorique capable de dรฉcrire lโรฉvolution cinรฉtique de ce nanocomposite sous irradiation aux ions dโor de 4 MeV, ร toute tempรฉrature. Jโai alors choisi la simulation par Monte Carlo cinรฉtique (KMC) parce que cโest lโapproche la mieux adaptรฉe ร lโรฉtude aux temps longs des nanostructures hors รฉquilibre. Le code de KMC utilisรฉ a รฉtรฉ dรฉveloppรฉ spรฉcifiquement pour cette รฉtude et cela a nรฉcessitรฉ la construction dโun modรจle basรฉ sur la compรฉtition entre les effets balistiques et les effets thermiques.
Les simulations de KMC ont permis de reproduire qualitativement les rรฉsultats expรฉrimentaux ร toute tempรฉrature. On retrouve en particulier le mรปrissement dโOstwald qui se produit ร haute tempรฉrature (T>900 K) et la dissolution des NPs qui est observรฉe ร basse tempรฉrature (T<600 K). Cette premiรจre รฉtude a ainsi validรฉ le modรจle dรฉveloppรฉ pour le KMC. Les simulations suivantes ont donc pu รชtre rรฉalisรฉes en toute confiance et jouer leur rรดle prรฉdictif.
L’utilisation de l’irradiation aux ions lourds comme outil de recherche est en quelque sorte emblรฉmatique de la mรฉthodologie de travail de la physique entiรจre. En effet, l’histoire de la physique est parsemรฉe d’exemples d’รฉvolutions que l’on peut dรฉcrire de la faรงon suivante. D’abord un nouveau phรฉnomรจne physique est dรฉcouvert. Suit alors une mobilisation intense de la communautรฉ scientifique, dans le but de comprendre le nouveau phรฉnomรจne. Quand ces รฉtudes arrivent ร maturitรฉ et se cristallisent dans une comprรฉhension exhaustive du phรฉnomรจne, celui-ci peut ensuite devenir lui-mรชme un outil de recherche pour รฉtudier d’autres phรฉnomรจnes physiques dont l’extension peut transcender largement le domaine initial. L’utilisation que l’on fait de nos jours de l’irradiation aux ions lourds au GANIL (Grand Accรฉlรฉrateur National dโIon Lourds) ou aux รฉlectrons au LSI (Laboratoire des Solides Irradiรฉs), illustre parfaitement une telle รฉvolution. Elle a commencรฉ par la dรฉcouverte de l’ionisation de la matiรจre par des particules chargรฉes. Ce sont leurs effets sur des plaques ou รฉmulsions photographiques qui ont permis de dรฉcouvrir ces rayonnements ionisants ainsi que leurs sources naturelles, par exemple, dans les cas du rayonnement cosmique et de la radioactivitรฉ. Aujourdโhui, on ne se contente plus de ces sources naturelles et ces particules sont produites artificiellement et de faรงon mieux maรฎtrisรฉe dans le but de les utiliser comme outil de recherche ou d’en tirer profit dans une application. Comme exemples de domaines d’application de l’irradiation on peut citer la microรฉlectronique (implantation d’ions) ou la mรฉdecine (traitement des cancers).
En particulier, lโirradiation aux ions lourds peut รชtre utilisรฉe pour contrรดler les propriรฉtรฉs des matรฉriaux, par exemple des structures de taille nanomรฉtrique qui ont de nombreuses applications. Parmi les nanomatรฉriaux existants, les nanocomposites constituรฉs de nanoparticules enfouies dans une matrice hรดte de silice [Pav06] ont des propriรฉtรฉs optiques et รฉlectroniques intรฉressantes [Pav00, Khr01, Cat09]. En raison de lโimportance de ce type de matรฉriaux, je vais dรฉcrire dans ce chapitre lโรฉtat de lโart de leur irradiation par des ions lourds.
Les collisions รฉlastiques entre un ion et un matรฉriau sont caractรฉrisรฉes par la conservation ร la fois de l’รฉnergie cinรฉtique totale et de la quantitรฉ de mouvement du systรจme. Elles sont dominantes dans le rรฉgime de basse รฉnergie de lโion, v << v0.
Lโion se dรฉplace ร travers lโรฉchantillon et subit des collisions avec des atomes de la cible qui le dรฉvient de sa direction initiale. Ces collisions sont traitรฉes comme des chocs รฉlastiques entre deux masses ponctuelles qui peuvent รชtre dรฉcrits par les lois de la mรฉcanique classique. Elles sont รฉgalement appelรฉes collisions nuclรฉaires. En rรฉalitรฉ, lโion incident et les atomes de la cible sont des particules chargรฉes. Ils interagissent ร travers le potentiel coulombien correspondant ร la rรฉpulsion des deux noyaux ร laquelle se superpose lโeffet dโรฉcran des รฉlectrons. Si la distance dโapproche des deux noyaux est faible par rapport au rayon dโรฉcran de Bohr, r << a, la rรฉpulsion coulombienne des noyaux domine lโinteraction. Si au contraire r >> a, lโatome de la cible est ressenti par lโion comme un atome neutre, et lโinteraction est celle se produisant entre deux sphรจres dures. Dans le cas intermรฉdiaire, r ~ a, le traitement de la collision est plus complexe, il faut alors prendre en compte lโeffet dโรฉcran.
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Table des matiรจres
I. Introduction gรฉnรฉrale
II. Irradiation aux ions lourds
II.A. Interaction ion-matรฉriau
II.A.1. Collisions รฉlastiques
II.A.2. Collisions inรฉlastiques
II.A.3. Pouvoir dโarrรชt
II.B. Comportement des nanostructures enfouies sous irradiation dans le rรฉgime de dรฉpรดt dโรฉnergie nuclรฉaire
II.B.1. Techniques de fabrication par faisceaux dโions
II.B.2. Les driven systems
II.B.3. Coefficient de diffusion sous irradiation
II.B.4. รvolution cinรฉtique des NPs sous irradiation de 4 MeV
II.B.5. Dissolution des NPs sous irradiation de 4 MeV
II.C. Sculpture de nano-objets enfouis par faisceau dโions dans le rรฉgime de dรฉpรดt dโรฉnergie รฉlectronique
II.C.1. Histoire de la mise en forme de NPs
II.C.2. Rรฉsultats expรฉrimentaux de la mise en forme de NPs
II.C.3. Vers une description phรฉnomรฉnologique de la mise en forme
III. Mรฉthodes
III.A. Simulation par Monte Carlo Cinรฉtique
III.A.1. Mรฉthode de Monte Carlo : principe gรฉnรฉral
III.A.2. Mรฉthode de Monte Carlo Metropolis
III.A.3. Mรฉthode de Monte Carlo cinรฉtique
III.A.4. Modรจle pour รฉtudier Au-Si02 sous irradiation
III.B. Simulation par Dynamique Molรฉculaire
III.B.1. Principe gรฉnรฉral
III.B.2. รnergie potentielle dโinteraction
III.B.3. รtude de la dilatation de lโor
III.C. Thรฉorie analytique de Frost-Russell
IV. Conclusion gรฉnรฉrale
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