Simulation du Comportement sous Irradiation aux Ions Lourds du Nanocomposite Au-SiO2

ร€ partir des annรฉes 1980, le dรฉveloppement des nanosciences [Dre86] a permis lโ€™observation et la manipulation dโ€™objets de taille nanomรฉtrique. Cela a ouvert la voie ร  une rรฉvolution technologique majeure. La fabrication, le contrรดle et la comprรฉhension des fonctionnalitรฉs des nano-objets est au cล“ur de la science du 21e siรจcle. Lโ€™objectif des nanosciences est de rechercher de nouvelles propriรฉtรฉs de la matiรจre tout en rรฉduisant les dimensions des dispositifs.

Parmi les diffรฉrents nanomatรฉriaux existants, nous nous intรฉressons aux nanocomposites, cโ€™est-ร -dire aux systรจmes solides composรฉs de plusieurs constituants dont lโ€™un a au moins une dimension nanomรฉtrique. Un exemple reprรฉsentatif en est donnรฉ par une couche mince contenant des nanoparticules (NPs). Mon travail sโ€™est orientรฉ vers les matรฉriaux nanocomposites du type mรฉtal-silice, dont les propriรฉtรฉs sont conditionnรฉes par la taille, la forme, la concentration, la distribution spatiale et l’environnement chimique des NPs enfouies. Ce type de nanocomposites est intรฉressant en raison de ses propriรฉtรฉs optiques particuliรจres : plasmons, optique non linรฉaire, etc.

Aujourd’hui, il existe de nombreuses techniques permettant de fabriquer des nanocomposites [Aja03] en utilisant diffรฉrentes approches soit du type bottom-up โ€“ citons la croissance des nanotubes de carbone par Chemical Vapor Deposition, ou la chimie colloรฏdale โ€“ soit du type top-down โ€“ comme la lithogravure qui inclut la photolithographie et lโ€™รฉlectrolithographie pour lโ€™รฉlectronique. Je me suis plus particuliรจrement intรฉressรฉ aux techniques utilisant les faisceaux dโ€™ions.

Le systรจme expรฉrimental est un nanocomposite constituรฉ de NPs dโ€™or enfouies dans une matrice de silice amorphe. Dans le premier type dโ€™expรฉriences, notre systรจme a รฉtรฉ irradiรฉ par des ions dโ€™or de 4 MeV alors que dans le second type lโ€™irradiation est effectuรฉe avec des ions de krypton de 74 MeV.

Dans les expรฉriences dโ€™irradiation aux ions dโ€™or de 4 MeV, les NPs dโ€™or รฉvoluent dans le rรฉgime de dรฉpรดt dโ€™รฉnergie nuclรฉaire tandis que la silice รฉvolue dans les deux rรฉgimes de dรฉpรดt dโ€™รฉnergie, nuclรฉaire et รฉlectronique. Lโ€™irradiation crรฉe des cascades de dรฉplacements balistiques dans les NPs dโ€™or et des dรฉfauts dans la silice. Ces effets dโ€™irradiation amรจnent le systรจme dans un รฉtat hors dโ€™รฉquilibre en favorisant la mise en solution des atomes dโ€™or dans la matrice, cโ€™est-ร -dire la dissolution des NPs. Au contraire, les effets thermiques ramรจnent le systรจme dans une configuration dโ€™รฉquilibre stable. Ils รฉliminent une partie des dรฉfauts crรฉรฉs par lโ€™irradiation et facilitent la diffusion des atomes de solutรฉ, ce qui conduit ร  la nuclรฉation et ร  la croissance de prรฉcipitรฉs.

Il nโ€™existe pas de modรจle thรฉorique capable de dรฉcrire lโ€™รฉvolution cinรฉtique de ce nanocomposite sous irradiation aux ions dโ€™or de 4 MeV, ร  toute tempรฉrature. Jโ€™ai alors choisi la simulation par Monte Carlo cinรฉtique (KMC) parce que cโ€™est lโ€™approche la mieux adaptรฉe ร  lโ€™รฉtude aux temps longs des nanostructures hors รฉquilibre. Le code de KMC utilisรฉ a รฉtรฉ dรฉveloppรฉ spรฉcifiquement pour cette รฉtude et cela a nรฉcessitรฉ la construction dโ€™un modรจle basรฉ sur la compรฉtition entre les effets balistiques et les effets thermiques.

Les simulations de KMC ont permis de reproduire qualitativement les rรฉsultats expรฉrimentaux ร  toute tempรฉrature. On retrouve en particulier le mรปrissement dโ€™Ostwald qui se produit ร  haute tempรฉrature (T>900 K) et la dissolution des NPs qui est observรฉe ร  basse tempรฉrature (T<600 K). Cette premiรจre รฉtude a ainsi validรฉ le modรจle dรฉveloppรฉ pour le KMC. Les simulations suivantes ont donc pu รชtre rรฉalisรฉes en toute confiance et jouer leur rรดle prรฉdictif.

L’utilisation de l’irradiation aux ions lourds comme outil de recherche est en quelque sorte emblรฉmatique de la mรฉthodologie de travail de la physique entiรจre. En effet, l’histoire de la physique est parsemรฉe d’exemples d’รฉvolutions que l’on peut dรฉcrire de la faรงon suivante. D’abord un nouveau phรฉnomรจne physique est dรฉcouvert. Suit alors une mobilisation intense de la communautรฉ scientifique, dans le but de comprendre le nouveau phรฉnomรจne. Quand ces รฉtudes arrivent ร  maturitรฉ et se cristallisent dans une comprรฉhension exhaustive du phรฉnomรจne, celui-ci peut ensuite devenir lui-mรชme un outil de recherche pour รฉtudier d’autres phรฉnomรจnes physiques dont l’extension peut transcender largement le domaine initial. L’utilisation que l’on fait de nos jours de l’irradiation aux ions lourds au GANIL (Grand Accรฉlรฉrateur National dโ€™Ion Lourds) ou aux รฉlectrons au LSI (Laboratoire des Solides Irradiรฉs), illustre parfaitement une telle รฉvolution. Elle a commencรฉ par la dรฉcouverte de l’ionisation de la matiรจre par des particules chargรฉes. Ce sont leurs effets sur des plaques ou รฉmulsions photographiques qui ont permis de dรฉcouvrir ces rayonnements ionisants ainsi que leurs sources naturelles, par exemple, dans les cas du rayonnement cosmique et de la radioactivitรฉ. Aujourdโ€™hui, on ne se contente plus de ces sources naturelles et ces particules sont produites artificiellement et de faรงon mieux maรฎtrisรฉe dans le but de les utiliser comme outil de recherche ou d’en tirer profit dans une application. Comme exemples de domaines d’application de l’irradiation on peut citer la microรฉlectronique (implantation d’ions) ou la mรฉdecine (traitement des cancers).

En particulier, lโ€™irradiation aux ions lourds peut รชtre utilisรฉe pour contrรดler les propriรฉtรฉs des matรฉriaux, par exemple des structures de taille nanomรฉtrique qui ont de nombreuses applications. Parmi les nanomatรฉriaux existants, les nanocomposites constituรฉs de nanoparticules enfouies dans une matrice hรดte de silice [Pav06] ont des propriรฉtรฉs optiques et รฉlectroniques intรฉressantes [Pav00, Khr01, Cat09]. En raison de lโ€™importance de ce type de matรฉriaux, je vais dรฉcrire dans ce chapitre lโ€™รฉtat de lโ€™art de leur irradiation par des ions lourds.

Les collisions รฉlastiques entre un ion et un matรฉriau sont caractรฉrisรฉes par la conservation ร  la fois de l’รฉnergie cinรฉtique totale et de la quantitรฉ de mouvement du systรจme. Elles sont dominantes dans le rรฉgime de basse รฉnergie de lโ€™ion, v << v0.

Lโ€™ion se dรฉplace ร  travers lโ€™รฉchantillon et subit des collisions avec des atomes de la cible qui le dรฉvient de sa direction initiale. Ces collisions sont traitรฉes comme des chocs รฉlastiques entre deux masses ponctuelles qui peuvent รชtre dรฉcrits par les lois de la mรฉcanique classique. Elles sont รฉgalement appelรฉes collisions nuclรฉaires. En rรฉalitรฉ, lโ€™ion incident et les atomes de la cible sont des particules chargรฉes. Ils interagissent ร  travers le potentiel coulombien correspondant ร  la rรฉpulsion des deux noyaux ร  laquelle se superpose lโ€™effet dโ€™รฉcran des รฉlectrons. Si la distance dโ€™approche des deux noyaux est faible par rapport au rayon dโ€™รฉcran de Bohr, r << a, la rรฉpulsion coulombienne des noyaux domine lโ€™interaction. Si au contraire r >> a, lโ€™atome de la cible est ressenti par lโ€™ion comme un atome neutre, et lโ€™interaction est celle se produisant entre deux sphรจres dures. Dans le cas intermรฉdiaire, r ~ a, le traitement de la collision est plus complexe, il faut alors prendre en compte lโ€™effet dโ€™รฉcran.

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Table des matiรจres

I. Introduction gรฉnรฉrale
II. Irradiation aux ions lourds
II.A. Interaction ion-matรฉriau
II.A.1. Collisions รฉlastiques
II.A.2. Collisions inรฉlastiques
II.A.3. Pouvoir dโ€™arrรชt
II.B. Comportement des nanostructures enfouies sous irradiation dans le rรฉgime de dรฉpรดt dโ€™รฉnergie nuclรฉaire
II.B.1. Techniques de fabrication par faisceaux dโ€™ions
II.B.2. Les driven systems
II.B.3. Coefficient de diffusion sous irradiation
II.B.4. ร‰volution cinรฉtique des NPs sous irradiation de 4 MeV
II.B.5. Dissolution des NPs sous irradiation de 4 MeV
II.C. Sculpture de nano-objets enfouis par faisceau dโ€™ions dans le rรฉgime de dรฉpรดt dโ€™รฉnergie รฉlectronique
II.C.1. Histoire de la mise en forme de NPs
II.C.2. Rรฉsultats expรฉrimentaux de la mise en forme de NPs
II.C.3. Vers une description phรฉnomรฉnologique de la mise en forme
III. Mรฉthodes
III.A. Simulation par Monte Carlo Cinรฉtique
III.A.1. Mรฉthode de Monte Carlo : principe gรฉnรฉral
III.A.2. Mรฉthode de Monte Carlo Metropolis
III.A.3. Mรฉthode de Monte Carlo cinรฉtique
III.A.4. Modรจle pour รฉtudier Au-Si02 sous irradiation
III.B. Simulation par Dynamique Molรฉculaire
III.B.1. Principe gรฉnรฉral
III.B.2. ร‰nergie potentielle dโ€™interaction
III.B.3. ร‰tude de la dilatation de lโ€™or
III.C. Thรฉorie analytique de Frost-Russell
IV. Conclusion gรฉnรฉrale

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