Rappels de la structure de bandes du semi-conducteur massif

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Boรฎtes quantiques auto-assemblรฉes รฉpitaxiรฉes par MOCVD

Le troisiรจme type dโ€™รฉchantillons, dรฉcrit dans cette section, consiste en des boรฎtes quantiques auto-assemblรฉes dโ€™InAs dont la croissance est rรฉalisรฉe sur le mรชme type de substrats en V que ceux utilisรฉs pour la croissance des boรฎtes quantiques des รฉchantillons A. Ce nouveau type dโ€™รฉchantillons prรฉsente, ร  priori, trois avantages. Premiรจrement, la forme du substrat permet la fabrication de guides dโ€™onde unidimensionnels. Deuxiรจmement, nous montrerons que la faible densitรฉ de boรฎtes quantiques est compatible avec la rรฉalisation dโ€™expรฉriences de micro-luminescence sur boรฎte unique. Et, troisiรจmement, nous espรฉrons tirer parti dโ€™un effet de couplage dโ€™ondes รฉvanescentes ร  lโ€™interface guide/air [87] pour augmenter lโ€™efficacitรฉ dโ€™extraction de la luminescence par rapport aux deux types dโ€™รฉchantillons dรฉcrits prรฉcรฉdemment. Sa structure est identique ร  celle des รฉchantillons de type A avant lโ€™รฉlimination des puits quantiques [001] par gravure chimique. Une couche dโ€™InAs, ร  partir de laquelle les boรฎtes quantiques se forment au dessus dโ€™une couche de mouillage selon le mode de croissance Stranski-Krastanov dรฉcrit dans la section 2.3.1, est insรฉrรฉe dans une couche de GaAs.
La figure (2.16) reprรฉsente un schรฉma de la structure de lโ€™รฉchantillon et une image, obtenue par microscopie รฉlectronique en transmission, de la coupe transversale de lโ€™รฉchantillon. Sur cette image, nous observons que lโ€™รฉpaisseur totale des deux couches de Al0.30GaAs entre lesquelles se situent la couche de mouillage et les boรฎtes quantiques est typiquement de 0.6 ฮผm, lโ€™รฉpaisseur de chacune des deux couches de Al0.60GaAs est de 0.7 ฮผm et la largeur de la surface plane [001] est de 0.5 ฮผm.
Nous pouvons voir, sur les deux images de microscopie รฉlectronique prรฉsentรฉes sur la figure (2.17), les boรฎtes quantiques qui se sont formรฉes avant dโ€™รชtre encapsulรฉes par une fine couche de GaAs. Les deux rรฉgions de lโ€™รฉchantillon qui nous intรฉressent sont le fond des V (image (a)) et la surface plane [001] (image (b)). Dans le premier cas, les boรฎtes quantiques sont parfaitement alignรฉes dans le fond du V. La densitรฉ de boรฎtes est alors trรจs faible : entre 5 et 10 boรฎtes par micron. Sur les plans [001], la densitรฉ de boรฎtes est environ trois fois plus รฉlevรฉe, mais encore compatible avec des expรฉriences sur boรฎte unique.

Propriรฉtรฉs optiques des guides dโ€™onde

Cet รฉchantillon contient deux types de guide dโ€™onde : un guide au fond du V et un autre formรฉ par les facettes cristallographiques [001]. Les modes propres de ces deux guides calculรฉ dans les รฉchantillons A (voir figure (2.5b)) et le mode propre du second ressemble fortement ร  celui dโ€™un guide dโ€™onde unidimensionnel de section rectangulaire. De plus, la polarisation du laser, orientรฉe selon lโ€™axe Y, nโ€™est presque pas modifiรฉe pendant la propagation de la lumiรจre dans chacun de ces guides dโ€™onde.

Extraction de la luminescence Boรฎtes quantiques sur la facette [001]

Il a รฉtรฉ prouvรฉ expรฉrimentalement [87] que lโ€™efficacitรฉ dโ€™extraction de la luminescence dโ€™un puits quantique de GaAs รฉpitaxiรฉ sur la facette cristallographique [001] de la structureย  schรฉmatisรฉe sur la figure (2.16) รฉtait de lโ€™ordre de 50%, valeur 20 fois plus grande que celle attendue pour un puits quantique identique รฉpitaxiรฉ sur un substrat complรจtement plat.
La simulation FDTD de la figure (2.19), reprรฉsentant lโ€™amplitude du champ รฉlectrique รฉmis par un dipรดle localisรฉ au centre de la surface [001] dans la couche de Al0.30GaAs montre essentiellement deux choses. Premiรจrement, lโ€™amplitude maximale du champ calculรฉe dans lโ€™air juste au-dessus de la surface de lโ€™รฉchantillon ร  la verticale du dipรดle est trois fois plus grande que celle calculรฉe sur la figure (2.14) dans le cas dโ€™un substrat complรจtement plat. Deuxiรจmement, lโ€™angle dโ€™รฉmission de la lumiรจre est environ 30หšdans le cas dโ€™un substrat en V alors que dans le cas dโ€™un substrat plat, il est plutรดt de 150หš. Par consรฉquent, la luminescence รฉmise dans le premier cas est entiรจrement collectรฉe par lโ€™objectif de collection dโ€™ouverture numรฉrique 0.5 alors que seulement 60% de la luminescence peut รชtre collectรฉe dans le second cas.
Ces deux propriรฉtรฉs (directionnalitรฉ de lโ€™รฉmission et grande efficacitรฉ dโ€™extraction) sont attribuรฉes au couplage entre les deux ondes รฉlectromagnรฉtiques รฉvanescentes localisรฉes ร  lโ€™interface AlGaAs/air des facettes [111], qui se transforment en une onde progressive se propageant dans la direction orthogonale ร  la surface horizontale [001].

Cryogรฉnie

Le cryostat est lโ€™รฉlรฉment central du montage expรฉrimental, toutes les expรฉriences รฉtant rรฉalisรฉes ร  basses tempรฉratures. Il doit permettre ร  la lumiรจre dโ€™atteindre les deux facettes clivรฉes des รฉchantillons qui constituent lโ€™entrรฉe et la sortie des guides dโ€™onde. De plus, la luminescence extraite des guides dโ€™onde par lโ€™interface gaine/air doit pouvoir รชtre collectรฉe par la surface de lโ€™รฉchantillon. Ces trois accรจs optiques, schรฉmatisรฉs sur la figure (3.3), imposent de placer lโ€™รฉchantillon dans une cuve en verre. Pour satisfaire cette contrainte expรฉrimentale, un cryostat ร  bain dโ€™hรฉlium est plus adaptรฉ quโ€™un cryostat ร  flux continu dโ€™hรฉlium.
Comme le montre le schรฉma de principe (3.2), le cryostat que nous utilisons est constituรฉ, en partant du centre, dโ€™un vase ร  hรฉlium liquide dont la tempรฉrature est 4.2 K. Un vase ร  azote liquide ร  la tempรฉrature de 77 K entoure le vase ร  hรฉlium central, ces deux vases รฉtant isolรฉs thermiquement par une chambre ร  vide secondaire qui isole รฉgalement le vase ร  azote de lโ€™enceinte extรฉrieure ร  tempรฉrature ambiante. Afin que lโ€™รฉchantillon soit placรฉ dans une cuve en verre, le porte-รฉchantillon est vissรฉ directement sur le fond dโ€™un doigt froid. Ce dernier, qui prolonge le vase ร  hรฉlium dans sa partie infรฉrieure et contient lui-mรชme de lโ€™hรฉlium liquide, est de forme cylindrique de 10 cm de hauteur et 1 cm de diamรจtre. Le faible encombrement du doigt froid permet dโ€™insรฉrer son extrรฉmitรฉ dans une cuve en verre parallรฉlรฉpipรฉdique de 5 cm de hauteur et 1.6 cm de largeur.
Entre le doigt froid et la cuve en verre, une garde ร  azote en cuivre, prolongement du vase ร  azote, permet de protรฉger le doigt froid et une partie du porte-รฉchantillon du rayonnement thermique provenant de lโ€™extรฉrieur. Ce dispositif maintient la tempรฉrature de lโ€™รฉchantillon la plus basse possible par simple contact thermique avec le doigt froid.
La tempรฉrature du porte-รฉchantillon la plus basse atteinte par ce systรจme de refroidissement est de 8 K. Deux rรฉsistances Allen-Bradley fixรฉes ร  lโ€™intรฉrieur du porte-รฉchantillon permettent dโ€™augmenter et de contrรดler sa tempรฉrature sur une gamme allant de 8 K ร  80 K en prรฉsence dโ€™hรฉlium liquide et jusquโ€™ร  la tempรฉrature ambiante en prรฉsence uniquement dโ€™azote. Une premiรจre rรฉsistance chauffe le porte-รฉchantillon quand une tension de quelques volts est appliquรฉe ร  ses bornes et une seconde permet de contrรดler la tempรฉrature de lโ€™รฉchantillon via la mesure de sa rรฉsistance, calibrรฉe en fonction de la tempรฉrature. Un paramรจtre crucial pour un cryostat utilisรฉ dans des expรฉriences de micro-luminescence est sa stabilitรฉ. Lโ€™enregistrement de la luminescence provenant dโ€™une boรฎte quantique unique peut nรฉcessiter des temps dโ€™acquisition de plusieurs dizaines de minutes. Ces contraintes expรฉrimentales demandent dโ€™assurer une stabilitรฉ de lโ€™ordre de quelques centaines de nanomรจtres pendant des temps dโ€™acquisition de typiquement 30 minutes. Le cryostat que nous utilisons a donc รฉtรฉ conรงu pour empรชcher la dรฉrive continue du positionnement vertical du porte-รฉchantillon qui a pour origine la dilatation thermique de lโ€™acier inoxydable constituant le vase ร  hรฉlium. Au fur et ร  mesure que lโ€™hรฉlium sโ€™รฉvapore, le vase ร  hรฉlium se dilate. Ce dernier รฉtant fixรฉ rigidement par le haut dans les cryostats ร  bain dโ€™hรฉlium classiques, la dilatation du vase se fait vers le bas entraรฎnant avec lui le porte-รฉchantillon positionnรฉ ร  lโ€™extrรฉmitรฉ du vase. Dans le cryostat utilisรฉ, la dilatation se fait, au contraire, vers le haut du cryostat en laissant la position de lโ€™รฉchantillon inchangรฉe.
Le fond du vase ร  hรฉlium repose sur trois piliers, dits stabilisateurs, fixรฉs rigidement sur le fond de lโ€™enceinte extรฉrieure, ne subissant pas de dilatation thermique puisquโ€™elle reste ร  tempรฉrature ambiante. De plus, trois vis latรฉrales calent le doigt froid et le stabilisent latรฉralement. Ces stabilisateurs sont de faibles longueurs et se dilatent donc peu.
Le matรฉriau qui les constitue a รฉtรฉ spรฉcialement choisi afin de rรฉduire au maximum letransfert de chaleur de lโ€™extรฉrieur vers le vase ร  hรฉlium via ces stabilisateurs. Par ailleurs, afin de permettre la dilatation du vase vers le haut, une fixation souple le relie au col du cryostat autorisant un dรฉbattement vertical maximal de lโ€™ordre du centimรจtre.

ย Source laser

Laser Titane-Saphir impulsionnel

Lโ€™รฉtude de la dynamique dโ€™un systรจme quantique nรฉcessite une excitation lumineuse impulsionnelle pour effectuer des expรฉriences de contrรดle cohรฉrent permettant de mesurer des temps de vie et des temps de cohรฉrence. Le laser utilisรฉ est un laser Titane-Saphir (TiSa) ร  blocage de modes pouvant รชtre montรฉ en rรฉgime dโ€™impulsions picosecondes ou femtosecondes, cadencรฉ ร  82 MHz. Cโ€™est un modรจle Tsunami de Spectra-Physics, pompรฉ par un laser solide Nd : Y V O4, lui-mรชme doublรฉ intra-cavitรฉ par un cristal de LBO qui produit un faisceau de longueur dโ€™onde 532 nm et dont la puissance peut atteindre 10 W. Le jeu de miroirs choisi permet, grรขce ร  un filtre de Lyot, dโ€™accorder la longueur dโ€™onde dโ€™รฉmission du laser Titane-Saphir entre 695 nm et 1000 nm, gamme de longueurs dโ€™onde compatible avec lโ€™excitation rรฉsonnante des boรฎtes quantiques de GaAs (autour de 750 nm) et dโ€™InAs (autour de 930 nm). Pour ces deux longueurs dโ€™onde dโ€™รฉmission, les
puissances moyennes ร  la sortie du laser, pour une puissance de pompe de 9 W, sont de 2 W ร  750 nm et 1.5 W ร  930 nm. On notera que la polarisation de la lumiรจre รฉmise est linรฉaire, orientรฉe selon un axe vertical.
Les caractรฉristiques temporelle et spectrale des impulsions picosecondes dรฉlivrรฉes par le Titane-Saphir sont discutรฉes dans le paragraphe suivant.

Largeurs temporelle et spectrale dโ€™une impulsion

Pour remonter ร  la largeur temporelle des impulsions dรฉlivrรฉes par le laser TiSa, on mesure la fonction dโ€™autocorrรฉlation dโ€™ordre 2, S2, dโ€™une impulsion. Par dรฉfinition, nous avons : S2(ฯ„ ) = Z +โˆž โˆ’โˆž dt I(t).I(t โˆ’ ฯ„ ) (3.1).
La figure (3.4) schรฉmatise le principe de fonctionnement dโ€™un autocorrรฉlateur en intensitรฉ, exploitant un effet non-linรฉaire de gรฉnรฉration de seconde harmonique. Lโ€™impulsion entre dans un interfรฉromรจtre de Michelson possรฉdant un bras fixe et un bras mobile effectuant des allers-retours autour de la position de diffรฉrence de marche nulle. En sortie de lโ€™interfรฉromรจtre, les deux impulsions provenant des deux bras sont donc sรฉparรฉes par un dรฉlai ฮด et traversent un cristal doubleur de frรฉquence. Le signal de sortie, ร  la frรฉquence double de la frรฉquence du signal dโ€™entrรฉe, est directement lโ€™autocorrรฉlation de lโ€™impulsion dโ€™entrรฉe, qui est mesurรฉe par un photomultiplicateur.
La figure (3.5) montre le rรฉsultat de lโ€™autocorrรฉlation dโ€™une impulsion de longueur dโ€™onde centrale 750 nm. Afin de remonter ร  la largeur temporelle ร  mi-hauteur de lโ€™impulsion, nous devons connaitre la forme de lโ€™enveloppe de lโ€™impulsion laser. En supposant que cette enveloppe sโ€™รฉcrit : E(t) = sech 2.64 t ฯ„ (3.2) oรน ฯ„ est la largeur totale ร  mi-hauteur, alors la largeur de la fonction dโ€™autocorrรฉlation en intensitรฉ est directement รฉgale ร  la largeur de lโ€™enveloppe du champ รฉlectrique ฯ„ . Pour cette longueur dโ€™onde, nous trouvons une largeur de 1.2 ps pour lโ€™enveloppe du champ รฉlectrique.
Par ailleurs, la figure (3.6) montre un spectre du laser Titane-Saphir en rรฉgime im pulsionnel, dans lequel les modes longitudinaux de la cavitรฉ sont verrouillรฉs en phase.
La largeur spectrale des impulsions est mesurรฉe en supposant une forme sรฉcante hyperbolique carrรฉe, sech2, pour la densitรฉ spectrale. Cette forme est cohรฉrente avec le choix dโ€™une enveloppe temporelle de forme sรฉcante hyperbolique pour le champ รฉlectrique de lโ€™impulsion, la transformรฉe de Fourier dโ€™une fonction sรฉcante hyperbolique de largeur ฯ„ รฉtant une fonction sรฉcante hyperbolique de largeur ฯ‰ = 4.4/ฯ„ . Lโ€™ajustement numรฉrique donne une largeur pour lโ€™intensitรฉ de ฮป = 0.72 nm, ce qui correspond ร  une largeur de 1.07 nm = 5.6 rad/ps pour le champ รฉlectrique. Lโ€™inรฉgalitรฉ de Fourier est donc presque saturรฉe รฉtant donnรฉ quโ€™on trouve thรฉoriquement une largeur spectrale de 4.4 rad/ps pour une impulsion de durรฉe 1 ps.
Nous terminons cette partie sur le laser par une justification du choix de travailler avec des impulsions picosecondes plutรดt que femtosecondes.

Impulsions picosecondes vs. impulsions femtosecondes

Aussi bien les expรฉriences de mesure de temps de vie utilisant la streak camera que les expรฉriences de contrรดle cohรฉrent nรฉcessitent lโ€™utilisation dโ€™excitation impulsionnelle.Dans le premier cas, lโ€™impulsion doit รชtre beaucoup plus courte que le temps de dรฉcroissance de la luminescence, soit le temps de vie T1. Dans le second, nous verrons dans le cinquiรจme chapitre que les expรฉriences de contrรดle cohรฉrent sont plus facilement interprรฉtables lorsque le temps dโ€™interaction de lโ€™impulsion avec le systรจme ร  deux niveaux est beaucoup plus petit que les constantes de temps caractรฉristiques du systรจme, soient le temps de vie T1 et le temps de cohรฉrence T2. On en dรฉduit que la borne supรฉrieure pour la durรฉe ฯ„ de lโ€™impulsion doit รชtre infรฉrieure au temps le plus court entre T1 et T2, soit : ฯ„ << min(T1, T2) (3.3)
Les temps de cohรฉrence les plus petits mesurรฉs sont de lโ€™ordre de 30 ps. Des impulsions picosecondes, et a fortiori des impulsions femtosecondes, vรฉrifient la condition (3.3). La raison portant notre choix sur des impulsions picosecondes provient du fait que, ร  รฉnergie par impulsion รฉgale, des impulsions femtosecondes excitent un plus grand nombre de boรฎtes quantiques que des impulsions picosecondes. En effet, nous dรฉmontrerons, dans le cinquiรจme chapitre, quโ€™une impulsion ฯ€ de durรฉe 1 ps excite toutes les boรฎtes dont les transitions se font ร  des รฉnergies appartenant ร  une plage de 500 ฮผeV alors quโ€™une impulsion de durรฉe 100 fs excite les boรฎtes sur une plage de 5 meV. Nous insistons dโ€™ores et dรฉjร  sur le fait que, en rรฉgime de couplage fort pour lequel la pรฉriode de Rabi, TR, est plus courte que le temps de cohรฉrence de la transition, la largeur spectrale sur laquelle une boรฎte quantique peut absorber un photon dรฉsaccordรฉ de lโ€™รฉnergie de la transition nโ€™est pas lโ€™inverse du temps de cohรฉrence, T2, comme en rรฉgime de couplage faible pour
lequel lโ€™absorption est faible devant lโ€™รฉmission spontanรฉe [89]. En couplage fort, cette largeur, ฮณfort, augmente avec la puissance de lโ€™excitation. Cela ne viole pas les inรฉgalitรฉs de Heisenberg sur la conservation de lโ€™รฉnergie. En effet, un systรจme ร  deux niveaux en couplage fort avec la lumiรจre voit la population de son niveau excitรฉ subir des oscillations de Rabi en fonction du temps dont la pulsation, R, est proportionnelle ร  lโ€™amplitude, E0, du champ รฉlectrique incident. Pour cette discussion, nous admettons lโ€™existence des oscillations de Rabi que nous dรฉmontrons dans le quatriรจme chapitre. Le systรจme ร  deux niveaux reste donc dans lโ€™รฉtat excitรฉ en moyenne pendant une demi-pรฉriode TR/2 puis se dรฉsexcite. Lโ€™inรฉgalitรฉ de Heisenberg en couplage fort nous dit que : TR 2 ฮณfort โ‰ˆ 1 (3.4).

Imagerie de la surface de lโ€™รฉchantillon

Nous exposons le montage dโ€™imagerie permettant dโ€™observer, soit les facettes clivรฉes de lโ€™รฉchantillon, soit sa surface gravรฉe. Ce montage est nรฉcessaire, dโ€™une part, pour faire coรฏncider le spot dโ€™excitation avec lโ€™entrรฉe dโ€™un guide sur la facette clivรฉe et, dโ€™autre part, pour sรฉlectionner la zone dโ€™observation des boรฎtes quantiques en translatant lโ€™objectif (O3) de collection.
Le principe, schรฉmatisรฉ sur la figure (3.9), est simplement dโ€™รฉclairer avec une lampe blanche la surface ou la facette de lโ€™รฉchantillon ร  travers lโ€™objectif de microscope. Le faisceau doit รชtre divergent ร  lโ€™entrรฉe de lโ€™objectif afin dโ€™รฉclairer uniformรฉment lโ€™รฉchantillon sur lโ€™ensemble du champ vu par lโ€™objectif. Lโ€™image de la surface, ou de la facette, est rรฉflรฉchie par lโ€™รฉchantillon et sort de lโ€™objectif de microscope en faisceau parallรจle, dont une partie est rรฉflรฉchie par une lame semi-rรฉflรฉchissante et envoyรฉe sur une camรฉra CCD de type webcam. Plusieurs images obtenues de cette maniรจre ont permis de montrer la surface des รฉchantillons (voir le deuxiรจme chapitre). Cela permet aussi de se reprรฉsenter le champ total vu par lโ€™objectif (O3) de collection de la luminescence, typiquement un disque de 50 ฮผm de diamรจtre.
La micro-photoluminescence consistant ร  observer la luminescence รฉmise par un objet de taille submicromรจtrique, la section suivante expose les techniques expรฉrimentales permettant de sรฉlectionner spatialement la luminescence de ces objets.

Sรฉlection spatiale de la luminescence

La luminescence est collectรฉe depuis la surface gravรฉe de lโ€™รฉchantillon par un objectif de microscope (O3) dโ€™ouverture numรฉrique NA3 de 0.6, de distance focale 4 mm et de distance frontale 7 mm.
Le champ total de cet objectif de collection, couvrant une zone de lโ€™รฉchantillon de 50 ฮผm de diamรจtre, est beaucoup trop grand pour permettre dโ€™isoler un nombre suffisamment petit de boรฎtes quantiques pour rรฉsoudre les raies homogรจnes individuelles de la luminescence de ces boรฎtes. Cette configuration expรฉrimentale ne permet dโ€™obtenir que des spectres de macro-luminescence. Afin de diminuer le champ de lโ€™objectif (O3), pour sรฉlectionner spatialement une quantitรฉ moins grande de boรฎtes quantiques, il existe deux mรฉthodes. La premiรจre consiste ร  graver des masques ร  la surface de lโ€™รฉchantillon. Cela est rรฉalisรฉ par dรฉpรดt dโ€™une fine couche dโ€™aluminium de 100 nm dโ€™รฉpaisseur sur la surface de lโ€™รฉchantillon, des trous de quelques centaines de nanomรจtres de diamรจtre sont ensuite percรฉs par gravure chimique. Une variante de cette technique consiste ร  retirer, par attaque chimique, les boรฎtes quantiques partout sauf en dehors de certains ilots appelรฉs mรฉsas, รฉgalement de tailles submicromรจtriques.
La seconde mรฉthode, celle que nous utilisons, ne fait intervenir que des รฉlรฉments optiques et ne nรฉcessite pas de gravure chimique supplรฉmentaire qui pourrait dรฉtรฉriorer les guides dโ€™onde et accroรฎtre la diffusion parasite vers lโ€™extรฉrieur du guide de la lumiรจre guidรฉe. Cette mรฉthode consiste ร  faire une image intermรฉdiaire agrandie du champ de lโ€™objectif de collection (O3) et dโ€™en sรฉlectionner une partie avec un trou de diamรจtre calibrรฉ.
Ce trou est ensuite imagรฉ sur la fente dโ€™entrรฉe dโ€™un spectromรจtre. Le systรจme confocal utilisรฉ pour sรฉlectionner une petite zone du champ de lโ€™objectif est schรฉmatisรฉ sur la figure (3.10). Il est composรฉ de deux lentilles identiques (L2) et (L3) de focales fL2 = fL3 de 200 mm, placรฉes ร  une distance 2fL2 lโ€™une de lโ€™autre et dโ€™un trou de 50 ฮผm de diamรจtre placรฉ dans le plan focal image (objet) de la premiรจre (seconde) lentille. Le schรฉma du systรจme confocal est montrรฉ sur la figure (3.10a). Le grandissement, ฮณconf , du systรจme optique composรฉ de lโ€™objectif (O3) et de la lentille (L2) avec lโ€™objet placรฉ dans le plan focal objet de lโ€™objectif est donnรฉ, dโ€™aprรจs la formule (3.8), par le rapport des distances focales suivant : ฮณconf = fL2 fO3 = 200 4 = 50 (3.11)
Si bien quโ€™un trou de 50 ฮผm de diamรจtre intercepte une zone de lโ€™image intermรฉdiaire qui correspond ร  un disque de diamรจtre 1 ฮผm sur lโ€™รฉchantillon. La zone de lโ€™รฉchantillon sรฉlectionnรฉe par le trou est indiquรฉe par un cercle sur lโ€™image (3.10b). La lentille (L3) permet de collimater le faisceau de luminescence issu du trou du systรจme confocal. Enfin, la lentille (L4) devant le spectromรจtre forme lโ€™image du trou sur la fente dโ€™entrรฉe du spectromรจtre.
La luminescence sรฉlectionnรฉe par le filtre confocal est envoyรฉe sur les appareils de dรฉtection permettant de mesurer lโ€™intensitรฉ de la luminescence et sa dรฉcroissance temporelle.

Spectromรจtre et camรฉra CCD

Aprรจs la sรฉlection spatiale rรฉalisรฉe par le systรจme confocal, la luminescence est focalisรฉe sur la fente dโ€™entrรฉe dโ€™un spectromรจtre avec la lentille (L4). Le spectromรจtre utilisรฉ est un Triax 550 de chez Jobin & Yvon de distance focale 550 mm. La distance focale fL4 de la lentille (L4), รฉgale ร  80 mm, a รฉtรฉ choisie en fonction de la taille des rรฉseaux, la focale du spectromรจtre et du diamรจtre du faisceau de luminescence, de maniรจre ร  couvrir la totalitรฉ du rรฉseau afin dโ€™optimiser la rรฉsolution spectrale du systรจme de dรฉtection.
Les spectres ont รฉtรฉ essentiellement obtenus avec un rรฉseau de 1200 traits/mm, blasรฉ dans le rouge. La luminescence diffractรฉe est dรฉtectรฉe, dans le plan focal image du spectromรจtre,par une camรฉra CCD en silicium de marque Jobin & Yvon, refroidie ร  lโ€™azote liquide, de dimensions 1980 ร— 800 pixels mesurant chacun 12 ฮผm.
La rรฉsolution spectrale du systรจme de dรฉtection, composรฉ du rรฉseau de 1200 traits/mm et de la camรฉra CCD, est de 50 ฮผeV. La figure (3.11) montre deux raies typiques de boรฎtes quantiques enregistrรฉes avec ce systรจme. La largeur des raies nous donne la rรฉsolution spectrale รฉtant donnรฉ que le spectre des boรฎtes quantiques รฉtudiรฉes est plus fin que lโ€™รฉcart spectral entre deux pixels, qui est de 37 ฮผeV. Lโ€™ajustement lorentzien (courbes rouges) nous donne une largeur ร  mi-hauteur de 50 ฮผeV, valeur retenue pour la rรฉsolution spectrale.
Enfin, la rรฉponse du systรจme de dรฉtection, en particulier du rรฉseau, dรฉpend de la polarisation de la lumiรจre. Lโ€™รฉtude de lโ€™intensitรฉ de la micro-luminescence en fonction de la polarisation nรฉcessite de sโ€™affranchir de cette dรฉpendance sur toute la chaine de dรฉtection depuis lโ€™objectif de collection (O3) jusquโ€™ร  la camรฉra CCD. Dans ce but, un rotateur de polarisation et un polariseur sont placรฉs juste derriรจre lโ€™objectif (O3). Le polariseur, placรฉ aprรจs le rotateur de polarisation, est orientรฉ pour transmettre la lumiรจre polarisรฉe horizon80 talement, cette derniรจre รฉtant dรฉtectรฉe plus efficacement que la polarisation verticale par lโ€™ensemble de la chaine de dรฉtection. Le rotateur de polarisation permet de faire tourner globalement la polarisation de la lumiรจre dโ€™un angle contrรดlable par lโ€™expรฉrimentateur.
Le couple constituรฉ par le rotateur et le polariseur permet donc lโ€™acquisition de spectres en fonction de la polarisation de la luminescence en sโ€™affranchissant de la rรฉponse de la chaรฎne de dรฉtection.

Mesure de la cohรฉrence quantique

Deux mรฉthodes gรฉnรฉrales tirant parti de la luminescence permettent de mesurer le temps de cohรฉrence dโ€™un systรจme quantique.
La premiรจre mรฉthode consiste ร  mesurer le temps de cohรฉrence des photons รฉmis par le systรจme รฉtudiรฉ en remarquant que les propriรฉtรฉs de cohรฉrence du dipรดle รฉmetteur sont intรฉgralement transmises aux photons รฉmis. Lโ€™idรฉe est donc de mesurer la largeur spectrale de la raie dโ€™รฉmission de la luminescence. Lโ€™utilisation unique du spectromรจtre ne permet pas dโ€™atteindre ce but dans le cas de largeurs de raies plus petites que sa rรฉsolution, soit environ 50 ฮผeV. Deux techniques permettent dโ€™aller au-delร  de la rรฉsolution du spectromรจtre : la spectroscopie par transformรฉe de Fourier et le filtrage spectrale avec une cavitรฉ Fabry-Pรฉrot. La spectroscopie par transformรฉe de Fourier consiste ร  rรฉaliser lโ€™autocorrรฉlation en amplitude de la luminescence avec un interfรฉromรจtre de Michelson. Dans ce cas, lโ€™information recherchรฉe est contenue dans lโ€™enveloppe des interfรฉrences obtenues en faisant varier la diffรฉrence de marche entre les deux bras de lโ€™interfรฉromรจtre.
Nous avons prรฉfรฉrรฉ utiliser un interfรฉromรจtre de Fabry-Pรฉrot, en tant que filtre spectral accordable en frรฉquence. Dans ce cas, un balayage en frรฉquence permet de reconstituer point par point la raie de luminescence.
La seconde mรฉthode gรฉnรฉrale consiste ร  sonder directement le dipรดle et non pas les photons รฉmis par le dipรดle. Cette technique, appelรฉe contrรดle cohรฉrent, prรฉsente lโ€™avantage de manipuler directement le systรจme ร  รฉtudier et, comme nous le dรฉcrirons dans le cinquiรจme chapitre, permet un plus grand nombres dโ€™expรฉriences. Dans cette technique, lโ€™excitation doit รชtre absolument rรฉsonnante avec la transition ร  manipuler. Lโ€™idรฉe gรฉnรฉrale est dโ€™exciter le systรจme avec deux impulsions dont on contrรดle trรจs prรฉcisรฉment le dรฉlai. Dans le cinquiรจme chapitre, nous montrons comment la dรฉpendance de lโ€™intensitรฉ de la luminescence en fonction du dรฉlai permet de remonter au temps de cohรฉrence de la source.
Nous allons dรฉtailler ces deux mรฉthodes que nous avons utilisรฉes. Le contrรดle cohรฉrent nous a permis de mesurer des temps de cohรฉrence sous excitation rรฉsonnante qui sont prรฉsentรฉs dans le cinquiรจme chapitre. Lโ€™interfรฉromรจtre de Fabry-Pรฉrot, mis en place rรฉcemment, va nous permettre de rรฉsoudre le splitting dโ€™รฉchange, ฮด1, des boรฎtes quantiques et de connaitre les directions des รฉtats propres X et Y. Les premiers rรฉsultats sont prรฉsentรฉs dans le quatriรจme chapitre.

Rรฉsolution du splitting dโ€™รฉchange avec lโ€™interfรฉromรจtre de Fabry-Pรฉrot

Lโ€™interfรฉromรจtre de Fabry-Pรฉrot, utilisรฉ en tant que filtre interfรฉrentiel accordable en frรฉquence, est insรฉrรฉ sur le trajet de la luminescence devant le spectromรจtre. La bande passante du filtre รฉtant beaucoup plus รฉtroite que la rรฉsolution du spectromรจtre, cโ€™est elle qui impose la rรฉsolution spectrale du dispositif de dรฉtection.
Nous commenรงons par rappeler la rรฉponse de lโ€™interfรฉromรจtre lorsque le champ incident est constituรฉ par une onde plane monochromatique. Ensuite, nous utiliserons ces rรฉsultats pour comprendre le rรดle de lโ€™interfรฉromรจtre lorsque le champ incident est constituรฉ par un train dโ€™ondes dont la durรฉe est fixรฉe par le temps de cohรฉrence T2 de la source.

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Table des matiรจres

1 Boรฎtes quantiques semi-conductricesย 
1.1 Prรฉsentation
1.1.1 Fluctuations dโ€™interface de GaAs sur AlGaAs
1.1.2 Boรฎtes quantiques auto-organisรฉes dโ€™InAs sur GaAs
1.2 Structure รฉlectronique des boรฎtes quantiques
1.2.1 Rappels de la structure de bandes du semi-conducteur massif
1.2.2 Boรฎtes quantiques
1.2.2.a Calcul des fonctions dโ€™onde en premiรจre quantification
1.2.2.b Traitement de lโ€™interaction coulombienne en seconde quantification
1.2.3 Transitions optiques
1.3 Structure fine de la paire รฉlectron-trou dans une boรฎte quantique asymรฉtrique
1.4 Mesure du temps de vie
1.4.1 Principe des mesures
1.4.2 Excitation rรฉsonnante
1.4.3 Excitation non rรฉsonnante
2 ร‰chantillons pour lโ€™optique guidรฉeย 
2.1 Enjeux de lโ€™optique guidรฉe
2.2 Boรฎtes quantiques issues de fluctuations dโ€™interfaces
2.2.1 Structure
2.2.2 Propriรฉtรฉs optiques du guide dโ€™onde
2.2.3 Extraction de la luminescence
2.3 Boรฎtes quantiques auto-assemblรฉes รฉpitaxiรฉes par MBE
2.3.1 Structure
2.3.2 Propriรฉtรฉs optiques du guide dโ€™onde
2.3.3 Extraction de la luminescence
2.4 Boรฎtes quantiques auto-assemblรฉes รฉpitaxiรฉes par MOCVD
2.4.1 Structure
2.4.2 Propriรฉtรฉs optiques des guides dโ€™onde
2.4.3 Extraction de la luminescence
4 SOMMAIRE
3 Montage expรฉrimentalย 
3.1 Schรฉma gรฉnรฉral du montage
3.2 Cryogรฉnie
3.3 Source laser
3.4 Microscopie
3.4.1 ร‰largisseur de faisceau
3.4.2 Imagerie de la surface de lโ€™รฉchantillon
3.5 Sรฉlection spatiale de la luminescence
3.6 Spectroscopie et dรฉtection
3.6.1 Spectromรจtre et camรฉra CCD
3.6.2 Streak Camera
3.7 Mesure de la cohรฉrence quantique
3.7.1 Rรฉsolution du splitting dโ€™รฉchange avec lโ€™interfรฉromรจtre de Fabry-Pรฉrot
3.7.1.a Champ monochromatique
3.7.1.b Trains dโ€™ondes
3.7.2 Interfรฉromรจtre de Michelson pour le contrรดle cohรฉrent
3.7.2.a Schรฉma gรฉnรฉral du montage
3.7.2.b Dรฉdoublement dโ€™une impulsion
3.7.2.c Contrรดle de la diffรฉrence de phase des deux impulsions
3.7.2.d Stabilitรฉ de lโ€™interfรฉromรจtre
4 Interaction lumiรจre-matiรจre : oscillations de Rabiย 
4.1 Description de lโ€™interaction
4.1.1 Couplage lumiรจre-matiรจre
4.1.2 Opรฉrateur moment dipolaire
4.1.2.a Forme de lโ€™opรฉrateur
4.1.2.b Moyenne quantique
4.1.2.c ร‰cart-type
4.1.3 Systรจme isolรฉ
4.1.3.a ร‰quation de Schrรถdinger du systรจme ร  deux niveaux
4.1.3.b Opรฉrateur densitรฉ
4.1.4 Systรจme en interaction avec son environnement
4.1.5 Interprรฉtation des temps de relaxation
4.1.6 ร‰quations de Bloch optiques
4.1.6.a Utilisation de la matrice densitรฉ et des รฉquations de Bloch optiques
4.1.6.b Les trois approximations
4.1.6.c ร‰noncรฉ des รฉquations
4.2 Excitation continue
4.2.1 Solutions des รฉquations de Bloch optiques
4.2.2 Fluorescence de rรฉsonance dโ€™un รฉmetteur unique
4.3 Excitation impulsionnelle
4.3.1 Lien entre les oscillations de Rabi en fonction du temps et de la puissance
4.3.1.a Rรฉsolution de lโ€™รฉquation de Schrรถdinger en rรฉgime dโ€™excitation pulsรฉe
4.3.1.b ร‰volution de la population sous une impulsion sรฉcante hyperbolique
4.3.1.c Oscillations de Rabi en fonction de lโ€™aire de lโ€™impulsion
4.4 Rรฉsultats expรฉrimentaux
4.4.1 ร‰chantillon A
4.4.1.a Oscillations de Rabi
4.4.1.b Calcul du moment dipolaire de la transition fondamentale
4.4.2 ร‰chantillon B
4.4.2.a Oscillations de Rabi
4.4.2.b Oscillations de Rabi et laser contra-polarisรฉs
5 Contrรดle cohรฉrentย 
5.1 Objectif dโ€™une expรฉrience de contrรดle cohรฉrent
5.1.1 Manipulation dโ€™un รฉtat
5.1.2 Mesure des constantes de relaxation
5.2 Dรฉcohรฉrence : lien entre reprรฉsentation en kets et matrice densitรฉ
5.3 Interaction du systรจme ร  2 niveaux avec 2 impulsions successives
5.3.1 Dรฉfinitions
5.3.1.a Dรฉphasage entre deux impulsions
5.3.1.b Aires des impulsions
5.3.2 Dynamique du systรจme
5.3.2.a Dรฉcoupage en 4 รฉtapes
5.3.2.b Rรฉsolution des รฉquations de Bloch gouvernant lโ€™รฉvolution lors de lโ€™รฉtape no 3
5.4 Mesure du temps de cohรฉrence
5.4.1 Principe de la mesure
5.4.2 Rรฉsultats expรฉrimentaux
5.4.2.a ร‰chantillon A
5.4.2.b ร‰chantillon B
5.5 Mesure du temps de vie
5.5.1 Principe de la mesure
5.5.2 Rรฉsultats expรฉrimentaux
5.5.2.a ร‰chantillon A
5.5.2.b ร‰chantillon B
5.6 Processus de dรฉcohรฉrence
5.6.1 Relaxation de lโ€™รฉnergie
5.6.2 Dรฉphasage pur
5.6.3 Bilan des rรฉsultats
5.7 Effets du detuning
5.7.1 Influence du detuning sur la mesure du temps de cohรฉrence
5.7.1.a Considรฉrations physiques
5.7.1.b Influence du dรฉlai
5.7.1.c Influence du dรฉphasage
5.7.1.d Consรฉquence sur les mesures du temps de cohรฉrence
5.7.2 Influence du detuning sur la mesure du temps de vie
5.7.2.a Franges de Ramsey avec deux impulsions ฯ€
5.7.2.b Consรฉquence sur les mesures du temps de vie
Conclusionย 

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