Soutenance mémoire
Introduction
Les molyblocs (ou « porte substrat ») sont des éléments en molybdène qui permettent la manipulation, à l’intérieur d’un bâti d’épitaxie, des substrats. Les molyblocs sont les seuls éléments utilisés à l’intérieur des bâtis, qui peuvent être sortis et remis à la pression atmosphérique. Ce sont des équipements spécifiques aux réacteurs d ‘épitaxie par jet moléculaires. Les réacteurs MBE 32 et MBE 2300 utilisés au sein du laboratoire du LAAS CNRS, utilisent des molyblocs communs. Afin d’éviter toute contamination des bâtis, la manipulation des molyblocs à l’extérieur doit être effectuée avec le plus grand soin.
o Les molyblocs ne doivent être manipulés et touchés qu’à l’aide des outils prévus à cet effet,
o Les molyblocs, lorsqu’ils sont manipulés sur les paillasses, doivent être posés sur les portes molyblocs,
o Les molyblocs doivent être précautionneusement fixés sur les bras manipulateurs afin d’éviter qu’ils puissent tomber dans une des chambres des bâtis.
Dans la notice qui suit, nous allons présenter de manière détaillé la procédure à suivre afin de de d’introduire un molybloc, depuis l’extérieur, dans la chambre d’introduction des réacteurs MBE32 et MBE2300. Ce document sert d’appuis au personnel formateur pour la formation à l’utilisation autonomes des réacteurs.
Protocole d’entrée pour 1 molybloc
État initial : La chambre d’introduction se trouve sous ultra vide (10-10 Torr) et le sas d’entrée est sous vide poussé (entre 3 et 5.10-5 Torr). Aucun molybloc ne se trouve sur les bras manipulateurs.L’alimentation de la commande des bras manipulateurs est branchée
o Dévisser les écrous de la porte du sas « entrée » (afin d’éviter une surpression lors de la mise sous azote),
o Mettre le sas d’entrée en surpression d’azote (ouvrir le robinet bleu puis dévisser doucement la vanne 2 azote),
o Quand le sas d’entrée est à la pression atmosphérique, ouvrir la porte.
o Positionner le molybloc sur le bras 2, à l’aide des outils prévus à cet effet,
o Fermer la porte du sas entrée,
o Fermer la vanne 2 azote,
o Viser les vis de la porte afin de faciliter l’étanchéité,
o Ouvrir la vanne 1 pompage
Il faut ouvrir la vanne avant de lancer le pompage afin d’éviter des variations de pression trop importante dans la pompe.
o Démarrer la pompe « PFEIFFER vaccum HiCUBE » du sas d’entrée (appuyer sur le bouton ⵀ, situé sur la pompe),
o Allumer l’alimentation de jauge Alcatel,
o Quand la pression du sas d’entrée avoisine les 5.10-5 Torr (affiché sur l’alimentation de jauge Alcatel), on peut démarrer la procédure de LOAD,
o Éteindre l’alimentation de jauge Alcatel,
o Diminuer le calibre de l’alimentation de la jauge de pression «INTRODUCTION» à 10-6 (pour que l’alimentation ne disjoncte pas lors des ouvertures de vannes),
o Fermer la vanne 1 pompage
Il faut fermer la vanne 1 du pompage avant d’ouvrir la vanne 3 d’introduction, afin d’éviter des variations de pression trop importantes dans la pompe.
2 VANNES NE DOIVENT JAMAIS ÊTRE OUVERTES EN MÊME TEMPS !!!!
o Ouvrir la vanne 3 sas entrée / chambre d’introduction aussi tôt que la vanne 1 pompage est fermée
Il faut ouvrir la vanne 3 d’introduction rapidement après avoir fermé la vanne 1 de pompage, afin de limiter la remontée en pression du sas d’entrée due au joint viton, et avoir une différence de pression module introduction / sas d’entrée trop grande.
o Introduire le molybloc dans le sas d’introduction
Position du bras manipulateur 2 pour introduction
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Table des matières
1. Introduction
2. Sas et vannes
2.1. Bras
2.2. Sas
2.3. Vannes
3. Protocole d’entrée pour 1 molybloc
4. Protocole d’entrée pour 2 molyblocs
5. Conclusion
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