Technologie catalytique (CAT)

Table des matières

Chapitre 1 – Introduction
1.1 Problématique
1.2 Objectifs
1.3 Originalité de la thèse
1.4 Organisation de la thèse
Chapitre 2 – Revue de la littérature 
2.1 Revue des capteurs d’hydrogène commerciaux et étude de performances
2.1.1 Technologie catalytique (CAT)
2.1.2 Technologie électrochimique (EC)
2.1.3 Technologie à conductivité thennique (TCD)
2.1.4 Technologie à oxyde métallique (MOX)
2.1.5 Technologie métal- oxyde – semi-conducteur (MOS)
2.1.6 Étude des perfonnances
2.1.7 Résumé de l’étude du marché des capteurs commerciaux
2.2 L’acoustique comme alternative
2.3 Théorie de l’ acoustique
2.3.1 Description du dispositif acoustique à base d’ondes acoustiques de surface
2.3.2 Principe de fonctionnement
2.3.3 Principe de détection
2.3.4 Modes de propagation de l’onde acoustique
2.4 Résumé des technologies acoustiques
Chapitre 3 – Étude théorique des mécanismes de détection dans les couches minces et étude de sensibilité «Application sur le mode SA W» 
3.1 Approche scientifique proposée pour l’explication du mécanisme de détection dans les couches minces
3.1.1 Extraction de la vitesse acoustique dans les couches minces «Développement mathématique»
3.1.2 Conception des dispositifs
3.1.3 Modèle électrique «Validation de la conception : Dimensionnement et fréquence de fonctionnement»
3.2 Modèle multiphysique
3.3 Approche scientifique proposée pour l’étude de sensibilité des différents modes acoustiques susceptibles d’être exploités
Chapitre 4 – Résultats expérimentaux «Application sur le mode SAW» 
4.1 Procédé de fabrication
4.2 Réalisation des masques
4.3 Réalisation des dispositifs
4.4 Méthodes et paramètres de test
4.4.1 Méthode de test
4.4.2 Paramètres de test
4.5 Étude en absence d’hydrogène
4.6 Étude en présence d’hydrogène
4.7 Étude de sensibilité des capteurs acoustiques (application sur le mode SAW) ..
Chapitre 5 – Nouvelle génération «Optimisation de la robustesse» 
5.1 Identification des modes acoustiques alternatifs exploités
5.2 Conception des capteurs à base de modes acoustiques alternatifs et choix des matériaux
5.2.1 ModeSH-SAW
5.2.2 Mode de Love
5.2.3 Mode de Lamb
5.3 Étude de sensibilité des différents cas
5.3.1 ModeSH-SAW
5.3.2 Mode de Love
5.3.3 Mode de Lamb
Chapitre 6 – Conclusion