Radiométrie et photométrie

Table des matières

INTRODUCTION
CHAPITRE 1 REVUE DE LITTÉRATURE
1.1 Introduction
1.2 Spectre électromagnétique
1.3 Radiométrie & photométrie
1.4 Grandeurs radiométriques et Unités de mesure
1.5 Détecteurs radiométriques
1.5.1 Détecteurs thermiques
1.5.1.1 Radiomètre à substitution électrique (RSE) et radiomètre cryogénique (référence primaire)
1.5.2 Détecteurs quantiques (photoniques)
1.5.2.1 Photodiodes autoétalonnables (référence primaire)
1.5.2.2 Détecteur piège
1.5.2.3 Couche antireflet et apport de la porosité
1.6 Types et principe de fonctionnement des photodiodes
1.6.1 Principe de fonctionnement d’une jonction PN
1.6.2 Caractéristiques d’une photodiode à base de jonction PN
1.6.2.1 Circuit équivalent et caractéristiques électroniques
1.6.2.2 La caractéristique I-V et les caractéristiques dérivées
1.7 Conclusion
CHAPITRE 2 RÉALISATION D’UNE PHOTODIODE À BASE DE GERMANIUM BRUT
2.1 Introduction
2.2 Étapes de réalisation d’une photodiode à base de Germanium
2.3 Réalisation de la jonction PN
2.3.1 Description de la technique d’implantation ionique
2.3.2 Simulation du profil de diffusion de l’espèce à doper
2.3.3 Traitement thermique post implantation et caractérisation de la couche dopée
2.3.3.1 Recuit standard au four (RSF)
2.3.3.2 Processus thermiques rapides (PTR)
2.3.3.3 Caractérisation de la jonction PN
2.4 Contacts avant et arrière
2.4.1 Couche mince d’oxyde transparent et conducteur
2.4.2 La métallisation
2.5 Conclusion
CHAPITRE 3 TECHNIQUES DE GRAVURES ET TECHNIQUES DE CARACTÉRISATION
3.1 Introduction
3.2 Différentes techniques de porosification
3.2.1 La gravure à sec
3.2.1.1 La gravure physique à sec
3.2.1.2 Gravure chimique à sec
3.2.1.3 Gravure par ions réactifs
3.2.1.4 La gravure par implantation ionique
3.2.2 La gravure humide
3.2.2.1 La gravure humide électrochimique
3.2.2.2 La gravure humide autocatalytique
3.3 Méthodologie expérimentale
3.4 Les différentes techniques de caractérisation
3.4.1 Microscope électronique à balayage (MEB) ou Secondary Electron Microscopy (SEM)
3.4.2 Microscope à Force Atomique (AFM)
3.4.3 Diffraction des rayons X (XRD)
3.5 Les trois techniques de gravure autocatalytique et leurs résultats expérimentaux
3.5.1 Le déplacement galvanique
3.5.2 Gravure autocatalytique assistée par un métal
3.5.3 Élimination des particules Ag de la surface du Ge
3.5.4 Gravure autocatalytique acide à l’eau régale
3.6 Conclusion
CHAPITRE 4 TRAITEMENT DE LA SURFACE DU GERMANIUM POUR LA RÉALISATION D’UNE PHOTODIODE À BASE DE GERMANIUM POREUX
4.1 Introduction
4.2 Caractérisation du Germanium poreux obtenu par immersion dans des bains à l’eau régale
4.2.1 La morphologie de surface étudiée par AFM
4.2.2 L’analyse structurale par diffraction des rayons X
4.2.3 Impact de la couche poreuse sur les caractéristiques optiques du Ge
4.3 Réalisation d’une photodiode au Ge avec et sans l’intégration d’une couche poreuse
4.4 Banc expérimental et résultats de caractérisation I-V
4.5 Conclusion
CONCLUSION
RECOMMANDATIONS ET TRAVAUX FUTURS
LISTE DE RÉFÉRENCES BIBLIOGRAPHIQUE