Les microsystèmes fluidiques

Table des matières

Chapitre I – LES MICROSYSTEMES
1.1- Définition d’un microsystème 
1.2- Les techniques de gravure 
1.2.1- La microphotolithographie
1.2.2- Gravure par voie chimique
1.2.3- Gravure par voie sèche
1.2.4- Scellement des substrats
1.3- Les microsystèmes fluidiques 
1.3.1- Les microvalves
1.3.2- Les micropompes
1.4- Les différents systèmes de mesure de microdébit liquide 
1.4.1- Position du problème
1.4.2- Les microdispositifs
1.4.3- Les dispositifs macroscopiques
1.5- Influence de la miniaturisation sur les écoulements de fluides 
1.5.1- Ecoulements gazeux
1.5.2- Ecoulements liquides
Chapitre II – BANC DE MESURE DE MICRODEBITS LIQUIDES
2.1- Présentation 
2.2- Bancs de mesure existants 
2.3- Description du banc expérimental 
2.3.1- Moyens de mesures de pression
2.3.2- Moyens de mesures du débit
2.3.3- Régulation en température
2.4- Traitement du signal 
2.5- Validation 
2.5.1- Etanchéité
2.5.2- Influence de la température sur les mesures
2.5.3- Influence de la pression le volume des pipettes
2.5.4- Tests de validation
2.5.5- Incertitudes de mesure
2.6- Conclusion 
Chapitre III – ECOULEMENTS PERMANENTS DE LIQUIDES DANS LES MICROCANAUX GRAVES SUR SILICIUM
3.1- Ecoulement de Poiseuille 
3.1.1- Microcanaux de section circulaire
3.1.2- Microcanaux de section non-circulaire
3.2- Présentation des échantillons testés 
3.2.1- Fabrication des échantillons
3.2.2- Caractéristique des microcanaux
3.2.3- Montage d’essais
3.3- Exploitation des résultats 
3.3.1- Premiers résultats
3.3.2- Mesure des dimensions au MEB
3.3.3- Comparaison des différents résultats
3.4- Conclusion 
Chapitre IV – PROJETS CNRS : MICROMED II ET MICRODIODES
4.1- Présentation du projet MICROMED II 
4.1.1- Système global
4.1.2- La micropompe
4.2- Etude expérimentale des microclapets 
4.2.1- Procédure de fabrication
4.2.2- Analyse expérimentale
4.2.3- Conclusion de l’étude
4.3- Les microdiodes fluidiques 
4.3.1- Fonctionnement d’une microdiode
4.3.2- Micropompes à diodes fluidiques
4.3.3 – Microdiode fluidique Vortex
4.3.4- Simulation numérique
4.4- Conclusion 
CONCLUSION GENERALE
Annexe – REALISATION D’UN GENERATEUR PNEUMATIQUE  BASSES FREQUENCES POUR L’ETUDE D’ECOULEMENTS GAZEUX PULSES EN MICROCANAUX
BIBLIOGRAPHIE