Les รฉtudes expรฉrimentales et thรฉoriques menรฉes sur la spectroscopie de plasmas produits par impulsion laser au CORIA ont dรฉbutรฉ en septembre 2005 avec les travaux de thรจse de doctorat rรฉsumรฉs dans ce mรฉmoire. Lโobjectif de cette รฉtude est de fournir les รฉlรฉments nรฉcessaires au dรฉveloppement dโune mรฉthode de diagnostic quantitative de surface. Dans cette perspective, nous avons commencรฉ nos travaux de recherche par lโรฉtude dโun cas test assez simple : la relaxation dโun plasma dโaluminium sous basse pression. Ceci nous a permis de quantifier les diffรฉrents phรฉnomรจnes physiques qui ont lieu pendant la phase de relaxation du plasma (cinรฉtique chimique, diffusion), et de valider des codes de calcul simplifiรฉs. En effet, malgrรฉ la quantitรฉ importante de travaux dรฉdiรฉs ร ce type dโรฉtude, rares sont ceux qui analysent la phase de relaxation de faรงon quantitative. A terme, lโobjectif est dโรฉtendre cette mรฉthode de diagnostic ร des surfaces comportant diffรฉrents รฉlรฉments chimiques, sous une atmosphรจre dโair ร la pression atmosphรฉrique. Il est donc nรฉcessaire de comprendre la phase de relaxation du plasma dans une situation simple avant de valider des codes de calculs plus รฉlaborรฉs (actuellement en dรฉveloppement au CORIA).
LES PLASMAS PRODUITS PAR IMPULSION LASER
Principe, รฉtat de lโartย
La spectroscopie de plasmas induits par laser, communรฉment appelรฉe LIPS (laser induced plasma spectroscopy), LIBS (laser induced breakdown spectroscopy), ou LPPS (laser produced plasma spectroscopy), consiste ร focaliser un faisceau laser, gรฉnรฉralement en rรฉgime impulsionnel, sur un รฉchantillon. Le rayonnement est absorbรฉ par la cible, et les fortes densitรฉs dโรฉnergie fournies par le laser ont pour effet de provoquer un รฉchauffement local de la cible jusquโร la tempรฉrature de vaporisation. La vapeur ainsi produite est soumise elle aussi au rayonnement du laser (dans le cas des impulsions laser nano-secondes) qui a pour effet de chauffer le gaz, puis de lโioniser, crรฉant ainsi un plasma chaud et dense, dont les espรจces constitutives vont diffuser dans le gaz environnant. Cet aspect dynamique a beaucoup dโimportance car il conditionne le refroidissement (la relaxation) du plasma, phase pendant laquelle se fera lโรฉtude expรฉrimentale.
Le rayonnement รฉmis par le plasma est collectรฉ par un dispositif optique appropriรฉ (lentilles, fibres optiques) puis imagรฉ sur la fente dโentrรฉe dโun spectromรจtre, sรฉparant les composantes spectrales du plasma qui sont enfin dรฉtectรฉes par une camรฉra intensifiรฉe. Cette technique dโablation laser a de nombreuses applications, comme par exemple le diagnostic de surfaces. Ainsi, en analysant le spectre rayonnรฉ par le plasma produit, il est possible de dรฉterminer la composition chimique de la surface ablatรฉe : chaque รฉlรฉment chimique possรฉdant une ยซ signature ยป spectrale bien connue. On conรงoit que cette technique dโanalyse sโรฉtend ร tous types de matรฉriaux, la seule condition ร la faisabilitรฉ dโune dรฉtermination de composition chimique รฉtant que lโรฉnergie apportรฉe par le laser soit supรฉrieure au seuil dโablation du matรฉriau, ce qui en pratique sera toujours le cas (mรชme pour les matรฉriaux rรฉfractaires). En revanche, faire de la LIPS une technique dโanalyse quantitative est une tache complexe, du fait du caractรจre instationnaire du phรฉnomรจne et de sa trรจs courte durรฉe de vie (quelques ยตs seulement), mais aussi du fait de lโinteraction du plasma crรฉรฉ avec le gaz ambiant, qui donne lieu ร une cinรฉtique chimique complexe. Ces caractรฉristiques liรฉes aux plasmas de LIPS nรฉcessitent un traitement des donnรฉes expรฉrimentales qui sโavรจre รชtre fastidieux.
La LIPS appliquรฉe au diagnostic a fait lโobjet de nombreux travaux de recherche [1], et a mรชme conduit ร la commercialisation de dispositifs, mais ces instruments ainsi que bon nombre de techniques dรฉveloppรฉes sont insuffisantes pour garantir ร lโutilisateur des mesures quantitatives prรฉcises et reproductibles. Parmi les nombreux travaux dรฉdiรฉs ร lโanalyse de surfaces, nous citerons quelques exemples dโapplications qui ont retenu notre attention. En particulier, la NASA a choisi la LIPS comme technique de diagnostic embarquรฉe pour analyser le sol Martien. Ainsi, Sallรฉ et al. [2] ont รฉtudiรฉ et comparรฉ diffรฉrentes mรฉthodes de dรฉtermination quantitative de composition de roches ร partir de courbes de calibration. Ces courbes sont obtenues de la maniรจre suivante : Lโรฉlรฉment chimique (notรฉ A) dont on dรฉsire connaรฎtre la concentration est inclus dans une matrice en concentration relative connue. En sรฉlectionnant une raie spectrale, et en mesurant lโintensitรฉ รฉmise, on associe ร une concentration donnรฉe un certain signal. Cette opรฉration est rรฉpรฉtรฉe pour plusieurs รฉchantillons contenant A en concentration croissante. Lโรฉvolution de lโintensitรฉ des raies dรฉtectรฉes en fonction de la concentration relative de lโรฉlรฉment A dans lโรฉchantillon constitue ainsi les courbes de calibration. La comparaison entre lโintensitรฉ รฉmise par lโรฉlรฉment A en concentration inconnue dans un รฉchantillon avec les courbes de calibration prรฉalablement obtenues permet de dรฉterminer la concentration relative de A dans lโรฉchantillon รฉtudiรฉ. Ainsi, cette technique permis ร Vieitez et al. [3] de dรฉterminer des concentrations de cuivre infรฉrieures ร 200 ppm dans des รฉchantillons dโacier ; Panne et al. [4-5] ont pu par cette mรฉthode dรฉterminer des rapports de concentrations entre SiO2, Al2O3 et CaO dans un plasma crรฉรฉ en ablatant du verre lors dโun processus de vitrification. La LIPS est aussi utilisรฉe pour faire du diagnostic sur des particules fines (aรฉrosols) [6-7], Cheung [8] a ainsi pu dรฉterminer des concentrations de mรฉtaux infรฉrieures ร 10 ng/m3 dans des particules nanomรฉtriques.
Les courbes de calibration rรฉvรจlent des รฉvolutions monotones croissantes, mais non linรฉaires [9]. Cette non linรฉaritรฉ est attribuรฉe aux effets dโauto-absorption, qui ont pour consรฉquence de restreindre le domaine de validitรฉ des courbes de calibration ร la partie linรฉaire de celle-ci, cโest ร dire pour des concentrations faibles de lโรฉlรฉment chimique รฉtudiรฉ. La prise en compte dโun tel phรฉnomรจne a รฉtรฉ effectuรฉe dans plusieurs travaux : Lazic et al. [10] ont dรฉterminรฉ des concentrations de silicium, aluminium, calciumโฆ dans des sรฉdiments en tenant compte des effets dโauto-absorption, ce qui leur a permis de dรฉterminer avec prรฉcision des concentrations relatives รฉlevรฉes. Une autre source dโerreur intervenant lors de la dรฉtermination des courbes de calibration provient de lโinhomogรฉnรฉitรฉ du plasma produit qui a pour effet de dรฉformer les raies spectrales. Aguilera et al. [11] ont construit des courbes de calibration en tenant compte de cet aspect spatial.
Interaction du rayonnement laser avec le plasma
Considรฉrons ร prรฉsent lโinstant de lโexpรฉrience dโablation laser pour lequel la vapeur dโaluminium interagit avec le rayonnement laser. Grey [32] a dรฉcrit le phรฉnomรจne physique produit lors de lโionisation dโun gaz par une impulsion laser (en rรฉgime nano-seconde) en le divisant en รฉtapes successives et indรฉpendantes. Ces รฉtapes sont les suivantes :
1) Initiation : cette รฉtape correspond aux premiers instants qui suivent lโimpulsion laser et se traduit par la crรฉation des premiers รฉlectrons libres. Le processus microscopique impliquรฉ pendant cette pรฉriode est lโionisation multiphotonique. Le temps caractรฉristique de ce phรฉnomรจne est directement reliรฉ au temps de rรฉponse du cortรจge รฉlectronique soumis ร lโimpulsion laser, qui est de lโordre de quelques femto-secondes.
2) Croissance : pendant cette phase, il y a lโamplification du nombre dโรฉlectrons libres jusquโร un certain degrรฉ dโionisation, couramment fixรฉ ร 10โปยณ, produisant le claquage de la vapeur. Pendant cette phase, le plasma devient de plus en plus dense, ce qui a pour consรฉquence dโaugmenter les phรฉnomรจnes dโabsorption et de diffusion du rayonnement laser par la vapeur. Le processus impliquรฉ pendant cette phase est principalement le Bremsstrahlung inverse dans le champ des neutres. Cette รฉtape ne dรฉpasse pas la nanoseconde.
3) Dรฉveloppement : le plasma est ร prรฉsent constituรฉ dโรฉlectrons libres en nombre suffisant pour absorber de maniรจre significative le rayonnement laser, notamment par Bremsstrahlung inverse dans le champ des ions, dont lโefficacitรฉ est supรฉrieure ร celle de lโรฉtape 2. Les collisions รฉlectroniques augmentent le degrรฉ dโionisation et la tempรฉrature du plasma. Cette augmentation rapide de la pression entraรฎne lโexpansion du plasma avec la gรฉnรฉration et la propagation dโune onde de choc. Les processus mis en jeu dans cette รฉtape agissent durant la totalitรฉ de lโimpulsion laser (quelques nanosecondes).
4) Extinction : Lโimpulsion laser est ร prรฉsent terminรฉe, les collisions รฉlectroniques entretiennent le plasma pendant quelques microsecondes, voire quelques dizaines de microsecondes. Les processus microscopiques qui dominent cette phase sont les recombinaisons ร trois corps et la recombinaison radiative. Le rรฉservoir dโรฉnergie du plasma diminue jusquโร la relaxation complรจte du plasma et lโรฉquilibre avec le gaz environnant.
5) Diffusion des particules ablatรฉes dans le gaz environnant ; cette รฉtape a lieu en mรชme temps que la quatriรจme.
Nous allons ร prรฉsent dรฉtailler les processus microscopiques impliquรฉs dans ces quatre รฉtapes et donner pour chacun les taux de rรฉaction qui leur sont associรฉs ; ceci nous permettra dโรฉvaluer les temps caractรฉristiques de ces processus.
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Table des matiรจres
Introduction
Chapitre 1 : Les plasmas produits par impulsion laser
1.1 Principe ; รฉtat de lโart
1.2 Phรฉnomรจnes collisionnels et radiatifs dans un plasma atomique
1.2.a Collisions รฉlastiques
1.2.b Collisions inรฉlastiques
1.2.c Processus radiatifs
1.3 Plasma dโaluminium crรฉรฉ par impulsion laser : description quantitative des processus microscopiques mis en jeu, temps caractรฉristiques
1.3.a Interaction du rayonnement laser avec la surface mรฉtallique
1.3.b Interaction du rayonnement laser avec le plasma
1.3.c Description de la cinรฉtique chimique du plasma ร partir de la fin de lโimpulsion laser
Rรฉfรฉrences du chapitre 1
Chapitre 2 : Plasma aluminium โ air ร lโรฉquilibre
2.1 Calcul de la composition dโun plasma dโaluminium ร lโรฉquilibre thermodynamique
2.1.a Plasma dโaluminium pur
2.1.b Influence de la prรฉsence de cuivre sur la composition du mรฉlange
2.2 Calcul de la composition dโun mรฉlange aluminium โ air ร lโรฉquilibre thermodynamique
2.2.a Fonction de partition des molรฉcules diatomiques
2.2.b Calcul de la composition du mรฉlange aluminium-air
2.3 Spectres synthรฉtiques en รฉmission du radical AlO
2.3.a Spectre rovibrationnel dโune molรฉcule diatomique
2.3.b Spectre synthรฉtique de AlO : systรจme bleu-vert
2.3.c Etude paramรฉtrique
Rรฉfรฉrences du chapitre 2
Chapitre 3 : Profils des raies spectrales
3.1 Elargissement des raies spectrales
3.1.a Elargissement naturel
3.1.b Elargissement Doppler
3.1.c Elargissement de pression
3.1.d Etude paramรฉtrique du profil de la raie dโAl(I) ร 396.15 nm
3.1.e Elargissement de rรฉsonance
3.2 Equation de transfert radiatif
3.2.a Approche globale de la transition
3.2.b Approche directionnelle et spectrale de la transition
3.2.b.ฮฑ Influence de la densitรฉ de lโรฉtat infรฉrieur de la transition, cas dโun milieu homogรจne
3.2.b.ฮฒ Influence des gradients de densitรฉs
Rรฉfรฉrences du chapitre 3
Chapitre 4 : Spectroscopie expรฉrimentale
4.1 Dispositif expรฉrimental ; expรฉriences en รฉmission
4.2 Influence des paramรจtres expรฉrimentaux
4.3 Expรฉriences en absorption
Rรฉfรฉrences du chapitre 4
Chapitre 5 : Analyse quantitative de la relaxation dโun plasma dโaluminium sous basse pression
5.1 Etude de la relaxation du plasma lorsque celui-ci est optiquement mince
5.1.a Relaxation du plasma ร z = 2 mm de la surface
5.1.b Relaxation du plasma dans le rรฉfรฉrentiel liรฉ ร sa rรฉgion la plus lumineuse
5.1.c Relaxation du plasma pour diffรฉrentes valeurs de la pression dโair dans lโenceinte
5.2 Etude de la relaxation du plasma aux temps courts et prรจs de la surface : plasma optiquement รฉpais
5.2.a Etude de la relaxation du plasma pour z = 1 mm ; P = 5 Pa
5.2.b Etude de la relaxation du plasma pour z < 1 mm ; 10 < P < 1000 Pa
Rรฉfรฉrences du chapitre 5
Chapitre 6 : Spectroscopie de photo-absorption ร deux impulsions laser ร la pression atmosphรฉrique
6.1 Relaxation du plasma ร z = 0.9 mm de la surface
6.1.a Dรฉtermination de la dimension du plasma
6.1.b Dรฉtermination des รฉvolutions spatio-temporelles des densitรฉs des espรจces ablatรฉes
6.1.c Comparaison des valeurs des densitรฉs avec celles calculรฉes ร lโรฉquilibre
6.2 Influence de la focalisation sur les spectres en รฉmission
6.3 Analyse par absorption de la relaxation du plasma pour diffรฉrentes distances entre lโaxe dโimagerie et la surface de la cible
6.3.a Etude de la luminance du continuum รฉmis par le plasma
6.3.b Evolution spatio-temporelle de la relaxation du plasma
6.4 Dรฉtermination de la concentration relative aluminium โ magnรฉsium dans un plasma crรฉรฉ par impulsion laser
Rรฉfรฉrences du chapitre 6
Conclusion