LE DEPOT ET L’INFILTRATION EN PHASE VAPEUR

LES COMPOSITES STRUCTURAUXย 

Gรฉnรฉralitรฉs

L’essor de l’industrie aรฉrospatiale et ses besoins en matรฉriaux de structure combinant lรฉgรจretรฉ (faibles densitรฉs) et robustesse (rigiditรฉ, rรฉsistance ร  la rupture, ร  la fatigue ou au fluage) ont conduit au dรฉveloppement des matรฉriaux composites. Les matรฉriaux composites sont, par dรฉfinition, formรฉs de plusieurs constituants diffรฉrents dont l’association confรจre ร  l’ensemble des propriรฉtรฉs amรฉliorรฉes par rapport ร  celles de chaque constituant pris sรฉparรฉment [1]. Les composites structuraux sont gรฉnรฉralement constituรฉs d’un renfort fibreux, formant une armature qui constitue le squelette de l’ensemble, et d’une matrice qui lie entre elles les fibres et rรฉpartit les efforts ; celle-ci joue รฉgalement un rรดle de protection vis ร  vis du renfort. Dans les plus rรฉpandus (90 % des applications) sont associรฉes une matrice en rรฉsine organique (รฉpoxyde ou polyester) et des fibres de verre, de carbone, de polyamide . . . Leurs propriรฉtรฉs mรฉcaniques sont รฉquivalentes ou supรฉrieures ร  celles des meilleurs aciers pour une densitรฉ 4 fois plus faible. Ils trouvent donc de nombreuses applications en construction aรฉronautique, navale, automobile, pour la fabrication d’articles de sport . . . Cependant, du fait de leur faible stabilitรฉ thermique, leur emploi est limitรฉ aux applications ร  basse tempรฉrature (< 300ยฐC).

Pour les applications ร  moyenne tempรฉrature (< 800ยฐC), on a recours ร  l’utilisation de matrices mรฉtalliques moins denses que les superalliages, tels que les alliages ร  base d’aluminium ou ร  base de titane. Mais, se posent alors des problรจmes de compatabilitรฉs chimiques et thermomรฉcaniques avec la plupart des renforts fibreux. De plus, leur difficultรฉ d’รฉlaboration et le coรปt รฉlevรฉ des รฉlรฉments qui les constituent limitent leur industrialisation. Pour de plus hautes tempรฉratures d’utilisation (> 800ยฐ C), en raison de leur excellente rรฉfractairitรฉ, leurs hauts modules d’รฉlasticitรฉ, leur duretรฉ รฉlevรฉe et leur bonne inertie chimique combinรฉs ร  leurs masses volumiques relativement faibles (par rapport ร  celles des mรฉtaux), les cรฉramiques apparaissent comme les matรฉriaux de matrice les mieux adaptรฉs. Leur association avec un renfort fibreux (au sein d’un composite) permet de pallier ร  leur principal inconvรฉnient : leur fragilitรฉ. Ainsi, les composites ร  matrice cรฉramique (CMC) peuvent รชtre envisagรฉs ร  terme pour la fabrication de piรจces de moteur thermique ou d’engins spatiaux.

Les composites ร  matrice cรฉramiqueย 

Les premiers CMC ayant bรฉnรฉficiรฉ d’un dรฉveloppement industriel sont les composites carbone/carbone (fibres et matrice en carbone). En raison de leurs excellentes propriรฉtรฉs thermomรฉcaniques en atmosphรจre neutre ou rรฉductrice et de leur lรฉgรจretรฉ, ils sont utilisรฉs par exemple comme cols ou divergents de tuyรจres de moteur de fusรฉe ou boucliers thermiques de corps de rentrรฉe. Leur coefficient de friction รฉlevรฉ ร  chaud, ou leur biocompatibilitรฉ ont รฉgalement permis leur utilisation dans les systรจmes de freinage ou en tant que prothรจses mรฉdicales. Cependant, le champ d’application des carbone/carbone est limitรฉ par leur faible rรฉsistance ร  l’oxydation qui, ร  l’air, dรฉbute dรจs 450ยฐC.

Pour pallier cet inconvรฉnient, il a รฉtรฉ proposรฉ dans un premier temps de remplacer la matrice carbone par une matrice plus rรฉsistante ร  l’oxydation i.e. carbure (SiC [2], TiC [3] ou B4C [4]), nitrure (BN [5] ou Si3N4) ou oxyde (Al2O3 [6] ou ZrO2 [7]). De plus, de nouvelles fibres cรฉramiques performantes ont รฉgalement รฉtรฉ dรฉveloppรฉes et commercialisรฉes (carbure de silicium, alumine, nitrure de silicium . . .), ce qui a permis de rรฉaliser de nouvelles combinaisons fibre/matrice pouvant รชtre utilisรฉes ร  haute tempรฉrature en atmosphรจre oxydante.

Elaboration des CMC

L’รฉlaboration d’une matrice cรฉramique rรฉfractaire au sein d’une prรฉforme constituรฉe de fibres longues a lieu gรฉnรฉralement soit par voie liquide soit par voie gazeuse. Dans le cas de la voie liquide, un prรฉcurseur organo-mรฉtallique ou un hydrosol (procรฉdรฉ sol-gel) est utilisรฉ pour imprรฉgner la prรฉforme, qui est ensuite rรฉticulรฉe ou sรฉchรฉe. Le prรฉ-imprรฉgnรฉ ainsi rรฉalisรฉ est traitรฉ thermiquement pour obtenir la cรฉramique finale.

Dans le procรฉdรฉ permettant l’รฉlaboration d’une matrice solide ร  partir d’espรจces gazeuses, la densification de la prรฉforme se fait par infiltration chimique en phase vapeur (CVI -Chemical Vapour Infiltration-) technique dรฉrivรฉe du dรฉpรดt chimique en phase vapeur (CVD, -Chemical Vapour Deposition-). Ces procรฉdรฉs permettent d’obtenir des matรฉriaux trรจs purs dont les caractรฉristiques physico-chimiques (morphologie, structure, composition, propriรฉtรฉs mรฉcaniques . . .) peuvent รชtre contrรดlรฉes en modifiant les paramรจtres d’รฉlaboration (pression, tempรฉrature, composition de la phase gazeuse).

LE DEPOT ET L’INFILTRATION EN PHASE VAPEURย 

Dans la technique CVD, un ou plusieurs gaz sont mis en contact avec la surface de la piรจce ร  recouvrir (substrat). Le chauffage du substrat provoque une rรฉaction chimique conduisant ร  la formation d’un dรฉpรดt solide. La chambre de dรฉpรดt est une enceinte ouverte aux deux extrรฉmitรฉs, parcourue par le flux gazeux constituรฉ d’un gaz vecteur entraรฎnant le ou les gaz prรฉcurseurs du solide.

Dans le cas des rรฉacteurs ร  parois froides, seul le substrat est chauffรฉ directement par exemple par induction ce qui limite les rรฉactions en phase homogรจne et les dรฉpรดts sur les parois du rรฉacteur, mais provoque de forts gradients de tempรฉrature et donc de forts courants de convection. Dans le cas des rรฉacteurs ร  parois chaudes, le chauffage est obtenu par rayonnement ce qui porte les parois et le substrat ร  des tempรฉratures รฉlevรฉes voisines. Ce type de rรฉacteur, utilisรฉ dans l’industrie, permet d’obtenir une phase gazeuse homogรจne mais le dรฉpรดt simultanรฉ sur les parois provoque une consommation accrue des gaz.

Le mรฉcanisme du dรฉpรดt CVD mettant en jeu des processus physicochimiques complexes peut รชtre dรฉcrit par la succession d’รฉtapes :

1. Transport par convection forcรฉe des gaz jusqu’ร  la zone de rรฉaction.
2. Rรฉactions chimiques en phase homogรจne entre les molรฉcules initiales conduisant ร  la formation d’espรจces intermรฉdiaires.
3. Transport par diffusion ร  travers la couche limite des espรจces rรฉactives vers la surface du substrat.
4. Rรฉactions chimiques hรฉtรฉrogรจnes au contact du substrat :
(a) adsorption des espรจces rรฉactives,
(b) rรฉactions ร  la surface entre espรจces adsorbรฉes ou entre espรจces adsorbรฉes et espรจces prรฉsentes dans la phase gazeuse initiale,
(c) dรฉsorption des produits gazeux de rรฉaction.
5. Transport par diffusion des produits gazeux ร  travers la couche limite.
6. Transport par convection forcรฉe des produits de rรฉaction et des gaz qui n’ont pas rรฉagi vers la sortie du rรฉacteur.

La vitesse globale de dรฉpรดt est dรฉterminรฉe par celle de l’รฉtape la plus lente, appelรฉe รฉtape limitante. Ainsi, le processus peut รชtre contrรดlรฉ soit par les processus physiques (transferts de masse aux รฉtapes 1, 3, 5 et 6) soit par des processus chimiques (รฉtapes 2 et 4). Dans le premier cas, le systรจme est dit en rรฉgime diffusionnel. Dans le deuxiรจme cas, le systรจme est dit en rรฉgime chimique. Le rรฉgime chimique en phase hรฉtรฉrogรจne est favorisรฉ dans des conditions de basse pression (LPCVD, -Low Pressure Chemical Vapour Deposition-) (typiquement < 50 kPa), de basse tempรฉrature (typiquement < 1200ยฐC) et de dรฉbits gazeux assez รฉlevรฉs pour permettre un apport de matiรจre suffisant. Il permet l’obtention de films denses et homogรจnes ou l’infiltration de substrats poreux (CVI), tels les prรฉformes fibreuses, en donnant aux espรจces rรฉactives le temps de diffuser au coeur de la porositรฉ avant de rรฉagir et de provoquer son obstruction. Dans ces conditions, le systรจme chimique est loin de l’รฉquilibre et il ne peut plus รชtre dรฉcrit de faรงon rigoureuse par des รฉtudes thermodynamiques. En CVI isotherme et isobare (ICVI), les vitesses lentes de rรฉaction impliquent des infiltrations sur de longues durรฉes pour la densification complรจte d’une prรฉforme fibreuse. Cependant, dans les rรฉacteurs ร  parois chaudes, l’infiltration simultanรฉe de nombreuses piรจces de gรฉomรฉtrie complexe est possible.

LES COMPOSITES SiC/SiCย 

Les fibres

La fibre couramment utilisรฉe comme renfort des composites SiC/SiC est la fibre Nicalon(1) dont le diamรจtre moyen est d’environ 14 ยตm. Elle est รฉlaborรฉe par ยซย filage/rรฉticulation ร  l’oxygรจne/pyrolyseย ยป d’un prรฉcurseur organomรฉtallique de type polycarbosilane (PCS). Il s’agit principalement d’une structure mรฉtastable de nano-cristaux de SiC รŸ de 2 ร  3 nm de diamรจtre emprisonnรฉs dans une phase amorphe d’oxycarbure de silicium SiC1-x/4Ox/2 comportant des agrรฉgats de carbone libre polyaromatique [10,11]. La prรฉsence d’une fine couche de silice est รฉgalement observรฉe en extrรชme surface de fibre. Les caractรฉristiques mรฉcaniques de ces fibres (E โ‰ˆ 200 GPa, sR โ‰ˆ 2500 MPa), associรฉes ร  une faible densitรฉ (d = 2,55), et une bonne tenue ร  l’oxydation et ร  une utilisation aisรฉe sous forme de mรจches multifilamentaires et de tissus, expliquent la place qu’elles occupent dans les CMC. Cependant, du fait de la prรฉsence d’oxygรจne, ces fibres sont instables au-delร  de 1000ยฐC sous atmosphรจre inerte ou sous vide [12,13] : l’oxygรจne de la fibre est รฉliminรฉ sous forme CO et SiO, laissant une structure microporeuse. A partir de 1300ยฐC, cette รฉvolution s’accompagne รฉgalement d’une croissance des grains de SiC รŸ. Cette dรฉgradation thermique entraรฎne une dรฉgradation importante des propriรฉtรฉs mรฉcaniques de la fibre.

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Table des matiรจres

INTRODUCTION GENERALE
1. LES COMPOSITES STRUCTURAUX
1.1. Gรฉnรฉralitรฉs
1.2. Les composites ร  matrice cรฉramique
1.3. Elaboration des CMC
2. LE DEPOT ET L’INFILTRATION EN PHASE VAPEUR
3. LES COMPOSITES SiC/SiC
3.1. Les fibres
3.2. La matrice
3.3. Comportement mรฉcanique des SiC/SiC
3.4. L’interphase
4. Le microcomposite
5. Le pyrocarbone
5.1. Structure
5.2. Elaboration
5.3. Oxydation
6. LES MATERIAUX RELEVANT DU SYSTEME CARBONEBORE
7. OBJECTIFS ET CONTENU DU PRESENT MEMOIRE
SYNTHESE DES PRINCIPAUX RESULTATS
I. LPCVD ET CARACTERISATION DE MATERIAUX C(B)
I.1. Elaboration des matรฉriaux
I.2. Caractรฉrisation chimique
I.2.1. Composition
I.2.2. Etude des liaisons chimiques du bore par XPS
I.3. Caractรฉrisation structurale
I.3.1. Anisotropie
I.3.2. Structure par diffraction des rayons X
I.3.3. Microscopie รฉlectronique en transmission en haute rรฉsolution
I.4. Rรฉsistance ร  l’oxydation
I.5. Conclusion
II. LES MATERIAUX C(B) EN TANT QU’INTERPHASES DE MICROCOMPOSITES SiC/SiC
II.1. Procรฉdures expรฉrimentales
II.1.1. Elaboration des microcomposites
II.1.2. Caractรฉrisation mรฉcanique
II.1.3. Appareillage de mesure des durรฉes de vie sous charge ร  l’air en tempรฉrature des microcomposites
II.1.4. Mรฉthode pour rรฉaliser des lames minces de microcomposites en coupe longitudinale
II.2. Etude sur les microcomposites ร  interphase uniforme
II.2.1. Comportement mรฉcanique
II.2.2. Rรฉsistance ร  l’oxydation
II.3. Microcomposites ร  interphases ร  gradient de composition
II.3.1. Comportement mรฉcanique
II.3.2. Rรฉsistance ร  l’oxydation
II.4. Prรฉsence d’une phase nano-cristallisรฉe dans les interphases
II.5. Conclusion
III. ELABORATION ET CARACTERISATION DE COMPOSITES 2D SiC/SiC A INTERPHASE C(B) A GRADIENT DE COMPOSITION
III.1. Introduction
III.2. Procรฉdure expรฉrimentale
III.3. Rรฉsultats
III.3.1. Caractรฉrisation de l’interphase par SEA
III.3.2. Tests de traction ร  l’ambiante
III.3.3. Rรฉsistance ร  l’oxydation
III.3.4. Caractรฉrisation par MET des composites
III.3.4.1. – L’interphase du composite
III.3.4.1.1. – Fonds clairs contrastรฉs et EELS
III.3.4.1.2. Haute Rรฉsolution
III.3.4.2. – L’interphase sans matrice
III.3.4.2. – Localisation des dรฉviations de fissures matricielles
III.3.4.3. L’interphase aprรจs vieillissement
III.4. CONCLUSION
CONCLUSION GENERALE
ANNEXES

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