Etude theorique et modele analytique de structures plasmoniques

Introduction ร  la plasmonique

La plasmonique est une discipline de lโ€™optique assez rรฉcente qui sโ€™intรฉresse ร  lโ€™รฉtude des composants dโ€™optique micro ou nano-structurรฉs permettant un confinement du champ optique sur des รฉchelles sub-longueur dโ€™onde par lโ€™intermรฉdiaire dโ€™une interaction entre une onde รฉlectromagnรฉtique (EM) dans le domaine des frรฉquences optiques (qq. 100THz) et un gaz dโ€™รฉlectrons libres dans un mรฉtal noble . Parmi les diffรฉrents composants dรฉveloppรฉs, plusieurs dispositifs utilisent des ondes de surface appelรฉes plasmon-polaritons de surface (SPP). Ces SPP rรฉsultent du couplage entre lโ€™oscillation collective dโ€™un gaz de charges libres – le plasm(a รฉlectr)on ou ยซ plasmon ยป – confinรฉ dans un mรฉtal prรฉsentant une conductibilitรฉ รฉlectrique trรจs รฉlevรฉe et une onde EM polarisรฉe transverse magnรฉtique (TM ou p) – le ยซ polariton ยป. Dans le domaine optique, la formation dโ€™un SPP correspond ร  une onde EM qui ne peut pรฉnรฉtrer en profondeur dans le mรฉtal. Le phรฉnomรจne reste alors confinรฉ en surface dโ€™oรน le nom de ยซ Plasmon-Polariton de Surface ยป.

La particularitรฉ dโ€™un SPP est que la longueur dโ€™onde effective associรฉe ฮปeff peut รชtre beaucoup plus faible que la longueur dโ€™onde ๏ฌ de lโ€™onde EM en propagation libre utilisรฉe initialement pour le gรฉnรฉrer. En consรฉquence, contrairement ร  des structures purement diรฉlectriques (cristaux photoniques, guides diรฉlectriques ou fibres optiques), il devient possible de confiner le champ EM suivant des dimensions trรจs petites devant la longueur dโ€™onde (confinement transverse sub longueur dโ€™onde ou sub-ฮป) ce qui offre deux propriรฉtรฉs trรจs intรฉressantes pour des applications pratiques : dโ€™une part cela permet de gรฉnรฉrer, guider, moduler et dรฉtecter de la lumiรจre sur des dimensions pouvant รชtre trรจs infรฉrieures ร  la limite imposรฉe par la diffraction, et dโ€™autre part cela autorise รฉgalement ร  concentrer des champs EM de fortes intensitรฉs dans un tout petit volume, permettant par exemple dโ€™exalter lโ€™interaction lumiรจre-matiรจre. Ces deux propriรฉtรฉs spรฉcifiques des SPP ont abouti ร  de nombreux dรฉveloppements ces vingt derniรจres annรฉes dans le domaine de la plasmonique.

La premiรจre observation expรฉrimentale de SPP dans le domaine optique remonte au dรฉbut du XXรจme siรจcle lorsque R. W. Wood a mis en รฉvidence des anomalies dans le spectre en rรฉflexion de rรฉseaux de diffraction mรฉtalliques . Ces anomalies de Wood se traduisent par lโ€™absence de certaines longueurs dโ€™onde dans le spectre diffractรฉ par des rรฉseaux mรฉtalliques pour une onde optique incidente polarisรฉe transverse magnรฉtique (TM). Malgrรฉ quelques tentatives pour expliquer ces phรฉnomรจnes au moment de leur dรฉcouverte, en particulier par Lord Rayleigh , ces effets ne seront interprรฉtรฉs physiquement que beaucoup plus tard par R. H. Ritchie. En 1957, ร  partir de diffรฉrents travaux expรฉrimentaux et thรฉoriques, Ritchie dรฉmontre lโ€™excitation de plasmons lors du passage dโ€™รฉlectrons rapides (qq keV) au travers dโ€™une feuille de mรฉtal. Mais ce nโ€™est quโ€™en 1968 quโ€™il interprรจte physiquement les anomalies observรฉes par Wood . La mรชme annรฉe paraissent les travaux dโ€™A. Otto et de E. Kretschmann et H. Raether qui proposent deux configurations expรฉrimentales permettant de maรฎtriser la gรฉnรฉration artificielle de ces ondes optiques de surface ร  lโ€™interface entre un mรฉtal noble et un milieu diรฉlectrique.

Lโ€™une des premiรจres applications pratiques exploitant le confinement local du champ EM obtenu dans une structure plasmonique a รฉtรฉ la diffusion Raman exaltรฉe par effet de surface (SERS). Elle fut mise en รฉvidence par M. Fleischmann en 1974 sur de la pyridine adsorbรฉe sur une surface d’argent rendue rugueuse par voie รฉlectrochimique . Il sโ€˜agit dโ€™une technique spectroscopique qui utilise lโ€™effet Raman pour obtenir des informations sur la composition de molรฉcules biologiques ou chimiques dรฉposรฉes sur des nanostructures mรฉtalliques (ou sur une surface mรฉtallique rugueuse). Ces nanostructures agissent comme des antennes en convertissant la lumiรจre radiative incidente en SPP et en la confinant localement. Elle subit alors une diffusion Raman par interaction avec les molรฉcules situรฉes juste ร  proximitรฉ de la structure mรฉtallique. La lumiรจre diffusรฉe se trouve alors amplifiรฉe par la nanostructure mรฉtallique. Cette double exaltation successive aboutit ร  un signal Raman de plusieurs ordres de grandeur supรฉrieurs ร  celui obtenu en lโ€™absence de couplage avec la structure mรฉtallique. En 1974, Fleischmann obtint ainsi un signal Raman exaltรฉ d’un facteur โ‰ˆ10ยณ . Lโ€™utilisation de nanoparticules mรฉtalliques a grandement contribuรฉ ร  amรฉliorer la sensibilitรฉ des dรฉtecteurs de molรฉcules chimiques ou biologiques qui permettent aujourdโ€™hui dโ€™accรฉder ร  de nombreux paramรจtres chimiques ร  lโ€™รฉchelle molรฉculaire . Dans les configurations SERS actuelles, cette exaltation peut atteindre un facteur 10ยนโด ร  10ยนโต, suffisamment intense pour dรฉtecter des molรฉcules uniques .

Une seconde catรฉgorie de capteurs, qui sโ€™est beaucoup dรฉveloppรฉe depuis le dรฉbut des annรฉes 90 , concerne les biocapteurs optiques ร  rรฉsonance de plasmon de surface (SPR) utilisรฉs pour lโ€™identification et lโ€™analyse dโ€™espรจces chimiques ou biologiques. Il sโ€™agit de rรฉfractomรจtres qui permettent de mesurer des variations d’indice de rรฉfraction trรจs faibles se produisant ร  la surface d’un film mรฉtallique supportant un SPP ou en prรฉsence de nanoparticules mรฉtalliques fonctionnalisรฉes. Lโ€™accrochage de molรฉcules sur des ligands localisรฉs dans le SPP induit ร  une longueur dโ€™onde donnรฉe une lรฉgรจre variation locale de l’indice de rรฉfraction du diรฉlectrique et donc une variation de lโ€™angle de lโ€™antirรฉsonance du SPP qui peut รชtre mesurรฉe prรฉcisรฉment par un photodรฉtecteur . Le SPP permet ainsi de sonder localement les molรฉcules situรฉes juste ร  la surface du mรฉtal.

A la mรชme pรฉriode, la plasmonique connaรฎt un essor scientifique et technologique trรจs important grรขce au dรฉveloppement quasi simultanรฉ de nouvelles techniques de fabrication dโ€™objets artificiels plasmoniques ร  lโ€™รฉchelle sub-longueur dโ€™onde (lithographie รฉlectronique, usinage ร  lโ€™aide dโ€™un faisceau dโ€™ions focalisรฉs ou Focused Ion Beam (FIB)), ร  lโ€™amรฉlioration constante des techniques de dรฉpรดt en couches minces, de nouvelles mรฉthodes expรฉrimentales de caractรฉrisations optiques (Microscopie en champ proche optique (SNOM) , Microscopie ร  fuite radiative (LRM), Microcopie en champ sombre (DFM), camรฉra infrarouge ) ainsi quโ€™ร  de puissants outils de calcul numรฉrique permettant une modรฉlisation efficace des effets observรฉs. Cet essor peut รชtre mis en รฉvidence en utilisant comme indicateur lโ€™รฉvolution au cours du temps du nombre dโ€™articles scientifiques contenant les termes ยซ surface plasmon ยป publiรฉs depuis 1955 .

Ces diffรฉrents dรฉveloppements ont permis dโ€™รฉtudier de nombreuses autres applications exploitant les propriรฉtรฉs des SPP dans de multiples domaines en mรฉdecine, biologie, physique des matรฉriaux, tรฉlรฉcommunications optiques, applications militaires… Plusieurs articles de synthรจse reprennent ces exemples dโ€™applications en dรฉtailsย  . Pour illustrer la diversitรฉ de ces applications potentielles, nous pouvons citer ร  titre dโ€˜exemples quelques dรฉveloppements particuliรจrement intรฉressants.

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Table des matiรจres

INTRODUCTION
I. ETUDE THEORIQUE ET MODELE ANALYTIQUE DE STRUCTURES PLASMONIQUES
1. INTRODUCTION A LA PLASMONIQUE
2. ETUDE THEORIQUE DES MODES PLASMONIQUES SUR DES STRUCTURES PLANAIRES
A. Etude dโ€™une structure avec une simple interface Mรฉtal/Diรฉlectrique
a. Dรฉtermination de lโ€™รฉquation dโ€™accord de phase
b. Etude de lโ€™influence du mรฉtal et de la longueur dโ€™onde sur les propriรฉtรฉs gรฉnรฉrales du SPP
c. Couplage du SPP en configuration de Kretschmann-Raether
B. Etude dโ€™une structure contenant deux interfaces successives
a. Dรฉtermination de lโ€™รฉquation dโ€™accord de phase
b. Etude de la double interface Silice/Au/Air
c. Etude de la double interface Silice/Au/Silice
C. Etude dโ€™une structure contenant trois interfaces successives
a. Dรฉtermination de lโ€™รฉquation dโ€™accord de phase
b. Etude de la triple interface Silice/Cr/Au/Air
c. Etude de la triple interface Silice/Au/Polymรจre/Air
D. Etude dโ€™une structure contenant quatre interfaces successives
a. Dรฉtermination de lโ€™รฉquation dโ€™accord de phase
b. Etude de lโ€™interface Silice/Polymรจre/Au/Polymรจre/Air
E. Gรฉnรฉralisation pour un systรจme contenant un nombre N quelconque dโ€™interfaces
3. MODELE DE Lโ€™INDICE EFFECTIF (MIE)
A. Prรฉsentation gรฉnรฉrale du MIE dans le cas dโ€™un guide dโ€™onde DLSPP
B. Evolution des modes de propagation dans le guide dโ€™onde DLSPP en fonction de la largeur du ruban
II. SIMULATIONS NUMERIQUES 2D ET 3D DE STRUCTURES PLASMONIQUES
1. MODELISATION DES MODES PLASMONIQUES AVEC UN SOLVEUR DE MODE
A. Principe du solveur de mode
B. Choix de lโ€™algorithme
C. Formalisme des matrices creuses
D. Etude dโ€™un guide plasmonique sous forme dโ€™une bande mรฉtallique dโ€™or
E. Etude des guides dโ€™onde DLSPP
F. Etude des guides dโ€™onde LRDLSPP
2. SIMULATIONS NUMERIQUES FINITE-DIFFERENCE TIME-DOMAIN (FDTD)
A. Introduction
B. Principe des simulations FDTD selon lโ€™algorithme de Yee
C. Discrรฉtisation selon Yee
D. Mise en place de la boรฎte de calcul
a. La PML (Perfectly Matched Layer)
b. La source
c. La zone principale
E. Comment simuler un milieu mรฉtallique ?
F. Choix du maillage adaptatif FDTD
G. Etudes de structures plasmoniques par FDTD 2D et 3D
a. Transition dโ€™une interface double Silice/Au/Air vers une interface triple Silice/Au/Polymรจre/Air
b. Transition dโ€™un guide DLSPP monomode vers une interface double Silice/Au/Air
c. Etude dโ€™รฉlรฉments passifs ร  base de guides DLSPP
d. Etude de bande dโ€™or dont la largeur est infรฉrieure ร  la largeur de coupure
III. MONTAGE EXPERIMENTAL
1. INTRODUCTION A LA MICROSCOPIE EN CHAMP PROCHE OPTIQUE
2. METHODES Dโ€™EXCITATION DES PLASMON-POLARITONS DE SURFACE
A. Introduction aux techniques dโ€™excitation des SPP
B. Couplage en configuration de Kretschmann-Raether
C. Couplage par un rรฉseau de diffraction
D. Couplage par un rรฉseau de fentes concentriques
3. ASSERVISSEMENT DE LA POSITION Dโ€™UNE MICRO-POINTE FIBREE
A. Asservissement en position de la sonde
B. Fabrication de la micro-pointe fibrรฉe
C. Phase dโ€™approche et technique dโ€™asservissement de la pointe
4. INTERFEROMETRIE PAR RETRO-INJECTION LASER APPLIQUEE A LA DETECTION CHAMP PROCHE
A. Introduction
B. Classification des lasers et choix du laser ร  fibre DFB erbium
C. Dynamique dโ€™un laser de classe B ร  trois niveaux
D. Dynamique dโ€™un laser de classe B ร  trois niveaux soumis ร  une rรฉtro-injection optique dรฉcalรฉe en frรฉquence
E. Dรฉcalage de la frรฉquence de la porteuse optique
a. Dรฉcalage par une paire de modulateurs acousto-optiques
b. Dรฉcalage par modulateur de phase
F. Etude du bruit en amplitude du laser ร  fibre DFB KOHERAS Basik C15
G. Vรฉrification expรฉrimentale des propriรฉtรฉs en dรฉtection par rรฉtro-injection laser hรฉtรฉrodyne
5. PRESENTATION DE Lโ€™ENSEMBLE DU MONTAGE ET DU MATERIEL UTILISE
IV. RESULTATS EXPERIMENTAUX
1. FABRICATION DE STRUCTURES PLASMONIQUES PAR LITHOGRAPHIE ELECTRONIQUE
A. Introduction ร  la lithographie รฉlectronique
B. Dรฉpรดt du mรฉtal par pulvรฉrisation cathodique (sputtering)
C. Prรฉparation du masque numรฉrique
D. Dรฉtermination de la dose
E. Etapes de fabrication de structures plasmoniques par LFE
2. CARACTERISATION EXPERIMENTALE EN CHAMP PROCHE OPTIQUE DE BANDES Dโ€™OR POUR LE GUIDAGE DE SPP ET COMPARAISON AVEC LES CALCULS NUMERIQUES
A. Rรฉglages manuels prรฉliminaires
B. Etude de la bande dโ€™or de largeur 5ยตm
C. Evolution de la longueur de propagation en fonction de la largeur de la bande dโ€™or
D. Imagerie en champ proche de fonctionnalitรฉs optiques simples
3. CARACTERISATION EXPERIMENTALE DE GUIDES Dโ€™ONDE DLSPP
A. Prรฉsentation de la premiรจre sรฉrie de guides dโ€™onde DLSPP
B. Gรฉnรฉration dโ€™un SPP en configuration 1
C. Gรฉnรฉration du SPP en configuration 2
D. Premiรจre tentative de couplage du mode TM00 en configuration de KR
E. Gรฉnรฉration du mode TM00 en configuration de KR avec un substrat et un prisme ร  haut-indice
CONCLUSION

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