Etude de monocristaux de DKH2PO

Notion de qualitรฉ cristalline

Importance de la qualitรฉ des cristaux

Les cristaux sont prรฉsents dans un grand nombre dโ€™applications, plus particuliรจrement dans le domaine de lโ€™optique et surtout dans les lasers. Comme dans beaucoup dโ€™autres domaines la qualitรฉ influe fortement sur les performances du dispositif. En effet, dans les applications visรฉes, les cristaux sont utilisรฉs pour leurs propriรฉtรฉs spรฉcifiques, alliรฉes ร  une grande perfection. La qualitรฉ conditionne, parfois de maniรจre rรฉdhibitoire, les performances attendues de ces cristaux.
La qualitรฉ cristalline est trรจs importante pour les applications (performances, durรฉe de vieโ€ฆ), cโ€™est pourquoi il est nรฉcessaire de possรฉder, en regard, des moyens de caractรฉrisations adaptรฉs visant ร  qualifier certains critรจres. Nous expliquons plus loin quels sont les critรจres de qualitรฉ cristalline et dans quelle mesure ils sโ€™appliquent.

Les critรจres de qualitรฉ

Il y a plusieurs faรงons de caractรฉriser la qualitรฉ dโ€™un cristal, on peut les diviser en 2 groupes, les critรจres macroscopiques dโ€™une part et les critรจres microscopiques dโ€™autre part.
Les observations optiques permettent dโ€™รฉvaluer la qualitรฉ macroscopique du cristal, plus utilisรฉs dans le domaine de lโ€™orfรจvrerie, elles permettent une premiรจre approche dans la caractรฉrisation. Par exemple, le carat, unitรฉ de masse pour les diamants naturels, permet dโ€™associer des critรจres de raretรฉ et des critรจres morphologiques pour lโ€™estimation dโ€™une valeur (Fig.1). Dans le domaine des diamantaires, certains dรฉfauts, critรจres dโ€™unicitรฉ, augmentent la valeur du cristal brut. Pour le cas gรฉnรฉral des matรฉriaux, on dรฉfinit les critรจres en fonction de lโ€™application mais aussi surtout en fonction de lโ€™รฉchelle de la propriรฉtรฉ utile. En effet, dans le cas de mรฉtaux de structure par exemple, les propriรฉtรฉs attendues de rรฉsistance de matรฉriaux sont caractรฉrisรฉes ร  lโ€™ordre macroscopique (duretรฉ, module dโ€™Youngโ€ฆ). Ces caractรฉrisations, trรจs utiles pour รฉviter les pertes de temps, ne permettent pas de rendre compte des critรจres de qualitรฉ requis pour certaines applications.

Caractรฉrisation de la qualitรฉ

Historiquement, les premiรจres caractรฉrisations de cristaux รฉtaient basรฉes sur des mรฉthodes visuelles qui attenaient ร  des critรจres dโ€™ordres morphologiques. Dans un premier temps on peut donc se contenter dโ€™une observation visuelle, elle rend compte de changements ร  grande รฉchelle. A lโ€™ล“il, on peut noter la prรฉsence ou pas, dโ€™inclusions (Fig.3), la continuitรฉ des arรชtes, la planรฉitรฉ des faces de croissances et lโ€™opacitรฉ du cristal. Dans un second temps, on peut qualifier optiquement les variations locales dโ€™indice optique dโ€™un matรฉriau par des mรฉthodes de strioscopie et dโ€™ombroscopie (Fig.4). Il est possible ensuite, de caractรฉriser lโ€™homogรฉnรฉitรฉ de composition dโ€™un matรฉriau. A lโ€™aide dโ€™une sonde Raman, on peut effectuer une spectroscopie par diffusion sur un volume de quelques microns cubes. Cette analyse apporte des informations de compositions chimiques et de structure sur une petite รฉchelle. La diffraction des rayons X permet dโ€™obtenir des informations sur la structure et sur les atomes en prรฉsence dans cette structure. Elle a permis les premiรจres analyses et rรฉsolutions de structures en cristallographie. Dans un autre temps, il est possible dโ€™analyser finement les matรฉriaux par lโ€™utilisation de microscopes รฉlectroniques en transmission. Cette analyse permet dโ€™effectuer lโ€™imagerie par contraste de transmission des รฉlectrons (absorption) dโ€™une part et par diffraction รฉlectronique dโ€™autre part.
Si on considรจre la rรฉsolution des techniques รฉnoncรฉes en regard des volumes sondรฉs, on peut conclure sur le choix dโ€™une mรฉthode de caractรฉrisation [1].
Les techniques optiques possรจdent lโ€™avantage de pouvoir aisรฉment sโ€™appliquer ร  des grands volumes, cependant les limitations dues ร  lโ€™absorption des photons du visible et au faible contraste dโ€™indice induit par des dรฉfauts en font une mรฉthode moins รฉtendue (rรฉsolution supรฉrieure ร  quelques microns). Dโ€™autre part, la spectroscopie Raman permet de sonder des petits volumes avec une rรฉsolution de lโ€™ordre du micron. Sa sensibilitรฉ permet dโ€™obtenir des informations trรจs fines en termes de composition (quelques ppm) et en termes de structure (contrainte interne). La zone observรฉe reste cependant peu รฉtendue. Pour obtenir des informations plus fines, on fait appel aux microscopies รฉlectroniques. En effet, les interactions รฉlectrons-matiรจre permettent dโ€™obtenir bon nombre dโ€™informations et ceci avec une rรฉsolution bien infรฉrieure au micron. Lโ€™observation de lames fines au TEM permet lโ€™imagerie par diffraction รฉlectronique. Les zones observรฉes sont fines et ร  lโ€™aide dโ€™une reconstruction de Fourier des clichรฉs de diffraction, on peut imager directement les dรฉfauts de lโ€™empilement atomique (Fig.5). La faible รฉpaisseur traversรฉe en TEM reste le point faible de la technique, celle-ci ne permettant pas dโ€™imager une large zone centimรฉtrique reprรฉsentative des conditions de croissance cristalline.

Application ร  la topographie

La topographie aux rayons X (XRT) est une mรฉthode qui permet de cartographier lโ€™intensitรฉ diffractรฉ par un รฉchantillon large. Elle utilise soit un rayonnement monochromatique soit un rayonnement X polychromatique. Basรฉe sur le principe de diffraction X, elle permet une grande sensibilitรฉ et une inspection dans des volumes importants de matรฉriau. Elle a pour but de permettre la qualification non-destructive de matรฉriaux cristallins. Sโ€™appliquant sur des grands volumes, elle permet la caractรฉrisation systรฉmatique des processus de croissance ou de rรฉalisation des matรฉriaux et des processus de leur mise en forme. La XRT est une mรฉthode de choix essentiellement pour les matรฉriaux techniques telles que les semi-conducteurs, les cristaux pour lasers ou bien encore les piรจces en aรฉronautique [2].
Si on regarde la loi de Bragg et quโ€™on lโ€™รฉtend ร  un systรจme plus rรฉel, on obtient sa forme รฉtendue (Fig.10). Celle-ci considรจre quโ€™ร  incidence fixe, on permet une trรจs faible variation du paramรจtre d hkl , une faible imperfection du rรฉseau, si on permet une trรจs faible variation de la longueur dโ€™onde dโ€™interaction. Cette considรฉration rend compte dโ€™une acceptance spectrale du phรฉnomรจne assez faible et donc dโ€™une sensibilitรฉ du phรฉnomรจne de diffraction forte.
Un dรฉfaut induit dans un cristal entraine donc une chute de lโ€™intensitรฉ diffractรฉe caractรฉristique car il absorbe les faisceaux qui le traversent. Il provoque un contraste dโ€™intensitรฉ si on le compare au cristal parfait qui lโ€™entoure. On note quโ€™il existe cependant plusieurs origines ร  ces changements de contrastes.
Dans un premier temps, puisque le facteur de structure Fhkl reflรจte lโ€™aspect quantitatif de la diffraction, lโ€™intensitรฉ diffractรฉe est perturbรฉe par des variations de celui-ci. En effet, ce facteur รฉtant liรฉ aux propriรฉtรฉs des atomes des plans considรฉrรฉs, il renseigne donc sur la rรฉgularitรฉ des positions dโ€™atomes. Lโ€™irrรฉgularitรฉ provoquรฉe par un dรฉfaut influe Fhkl et provoque ainsi une variation dโ€™intensitรฉ, un contraste.
Dans un second temps, la variation dโ€™orientation provoquรฉ par une contrainte interne ou plus fortement par une macle, provoque la variation des conditions de Bragg et donc une diminution de lโ€™intensitรฉ.
Enfin, nos verrons plus loin que 2 modes composent la diffraction et quโ€™ils sont fortement perturbรฉs par lโ€™รฉpaisseur traversรฉe. Lโ€™apparition de ces 2 modes provoquera certains contrastes que nous dรฉvelopperons plus loin.
La XRT permet donc lโ€™observation de contraste dans la diffraction X pour interprรฉter ces variations et identifier des zones dโ€™imperfection dans un cristal. Sa mise en ล“uvre technique est possible en laboratoire ร  lโ€™aide dโ€™une source X de laboratoire ou en synchrotron selon plusieurs gรฉomรฉtries dรฉveloppรฉes plus loin [3].

Origine des contrastes et interprรฉtation des topographies

La topographie est donc une technique dโ€™imagerie permettant la localisation et lโ€™identification des dรฉfauts cristallins prรฉsents dans un monocristal. Lโ€™imagerie de ces dรฉfauts est possible par lโ€™utilisation du contraste de diffraction, c’est-ร -dire des diffรฉrences dโ€™intensitรฉ crรฉรฉes par des modifications par les dรฉfauts du phรฉnomรจne de diffraction. Pour expliquer plus clairement comment se forment les images, il faut comprendre quels dรฉfauts provoquent ces contrastes ?
Pour ce faire, nous expliquons plus loin comment les rayons X se propagent selon 2 modes dโ€™interactions possibles avec les dรฉfauts. On explique les contrastes observรฉs par la faรงon dโ€™interagir via les thรฉories cinรฉtique et dynamique de diffraction des rayons X.

Thรฉorie cinรฉtique des rayons X

La thรฉorie cinรฉtique des rayons X traduit le phรฉnomรจne majoritaire et le plus collaboratif en termes dโ€™intensitรฉ du phรฉnomรจne de diffraction. Dans les conditions correctes (loi de Bragg satisfaite), la diffraction cinรฉtique est possible dans toute rรฉgion monocristalline dโ€™un cristal. Ici la diffraction est due aux interactions dโ€™ondes provenant de la rรฉflexion sur 2 plans atomiques consรฉcutifs exclusivement. Elle est impactรฉe par chaque plan et on considรจre que lโ€™intensitรฉ diffractรฉe est alors proportionnelle au carrรฉ du facteur de structure.

Approche de la thรฉorie dynamique

La thรฉorie dynamique traduit elle la possibilitรฉ pour des ondes primaires, issues du rayonnement incident, dโ€™interfรฉrer avec les ondes diffractรฉes par les rรฉgions de haute perfection du cristal. Ici la diffraction est donc due aux interactions dโ€™ondes incidentes avec des ondes diffractรฉes par le rรฉseau [5]. Cette interaction de second ordre entraine une diffรฉrence dโ€™intensitรฉ diffractรฉe en thรฉorie dynamique. Lโ€™intensitรฉ diffractรฉe est cette fois proportionnelle au facteur de structure. Les intensitรฉs diffractรฉes sont dโ€™ordre plus faible quโ€™en diffraction cinรฉtique ce qui entraine des contrastes plus faibles (contrastes de gris).
Cependant, un des avantages des conditions de diffraction dynamique est que le phรฉnomรจne est plus critique puisquโ€™il accumule la mise en conditions de diffraction du faisceau incident avec dโ€™autres ondes รฉmises par le rรฉseau. De plus, on note que le phรฉnomรจne est possible dans les rรฉgions de haute puretรฉ dโ€™un cristal et quโ€™il est trรจs sensible.
Cependant on distingue les 2 phรฉnomรจnes par leur faรงon dโ€™interagir avec le rรฉseau, le phรฉnomรจne cinรฉtique rรฉsulte de lโ€™interaction avec les plans, il est impactรฉ par le nombre de sites atomiques traversรฉs, donc par lโ€™รฉpaisseur. Le phรฉnomรจne dynamique est plus impactรฉ par lโ€™imperfection du rรฉseau mais reste plus prรฉsent lors des fortes รฉpaisseurs de traversรฉes. On accumule donc les 2 phรฉnomรจnes dans une tache de diffraction, les contrastes se mรชlant.
On voit lโ€™intรฉrรชt de maรฎtriser les rรฉgions qui diffractent dans un mode ou dans lโ€™autre pour distinguer et mettre ร  profit ces 2 types dโ€™informations. Nous verrons plus loin quโ€™il est possible de jouer sur les contributions du phรฉnomรจne dynamique ou cinรฉtique.

Interaction des 2 thรฉories

Le mรฉcanisme de formation dโ€™une image est donc rรฉgit par la contribution des 2 phรฉnomรจnes que lโ€™on englobe dans ce quโ€™on appelle communรฉment la diffraction des rayons X. Les 2 thรฉories pouvant se mรชler et perturber lโ€™interprรฉtation des images de topographie on comprend lโ€™intรฉrรชt de les distinguer. Il est donc important de savoir dans quelles conditions lโ€™une et lโ€™autre thรฉorie interviennent. Elles sont aux nombre de deux, lโ€™รฉpaisseur face aux rayons X et la qualitรฉ du cristal entrainant lโ€™imperfection des conditions de diffraction.
Lโ€™imperfection des conditions de diffraction a deux origines. Dโ€™une part la perfection du cristal, la perfection du rรฉseau atomique favorise les conditions dynamiques plus drastiques angulairement. Dโ€™autre part, on remarque que lโ€™รฉloignement des conditions parfaites de diffraction par le dรฉsalignement de lโ€™incidence de Bragg provoque la destruction de lโ€™effet dynamique au profit du phรฉnomรจne cinรฉtique.
Lโ€™รฉpaisseur face aux rayons X est une question primordiale. En effet comme on lโ€™a vu plus haut la thรฉorie cinรฉtique est plus impactรฉe par lโ€™รฉpaisseur de traversรฉe que la thรฉorie dynamique. Une faรงon simple de classer le type dโ€™interactions est de sโ€™attacher au produit ยต.e, car il rend compte de la qualitรฉ ร  transmettre (Io/I) en fonction des caractรฉristiques du matรฉriau : รฉpaisseur (e) et coefficients dโ€™absorption (ยต) [6]. Aussi, en XRT de laboratoire, on dรฉfinit trois principaux domaines dโ€™absorption : fin, intermรฉdiaire et รฉpais (Fig.15).

Formation des images

La configuration ร  laquelle nous nous intรฉressons plus particuliรจrement est la mรฉthode traversante de Lang. Nous considรฉrons donc une configuration en transmission dans laquelle le cristal est dรฉplacรฉ dans le faisceau incident pour imager toute sa largeur (jusquโ€™ร  70 mm).
On se propose dโ€™expliquer comment, au cours de ce balayage le long dโ€™une ligne de dislocation, le faisceau interagit et forme une image sur laquelle cette ligne est visible (Fig.16).

Travaux actuels

Les travaux effectuรฉs en topographie durant les 20 derniรจres annรฉes ont รฉtรฉ considรฉrables. De nombreux scientifiques se sont spรฉcialisรฉs dans ces techniques dโ€™imagerie X et les articles sont nombreux. On note que bon nombre dโ€™eux sโ€™effectuent en rayonnement synchrotron mais il existe encore des travaux sur des topographies de laboratoire si on recherche dans les journaux de physique du solide et de cristallogenรจse.
Le Synchrotron X-ray Topography Laboratory de lโ€™universitรฉ de Stony Brooks aux Etat-Unis, plus particuliรจrement lโ€™รฉquipe de Michael Dudley, est spรฉcialisรฉ dans les techniques dโ€™imagerie X [7]. Les รฉquipes de recherches russes, mondialement reconnues pour leur excellence dans le domaine de la croissance cristalline, publient un nombre important dโ€™articles sur lโ€™รฉtude par topographie X de monocristaux de nouveaux composรฉs [8], [9].
En France, deux grands spรฉcialistes que sont Bernard Capelle et Josรฉ Baruchel (respectivement au LURE et ร  lโ€™ESRF) ont cosignรฉ un nombre important de travaux portant sur lโ€™รฉtude de structures et de composรฉs par topographie en rayonnement synchrotron [10].
De nombreux travaux actuels traitent de topographie en rayonnement synchrotron car la rรฉsolution acquise et la structure pulsรฉe du faisceau facilite la comprรฉhension de phรฉnomรจnes fins avec des possibilitรฉs de rรฉsolutions temporelles trรจs intรฉressantes (topographie stroboscopique) [11].
La XRT en laboratoire sโ€™effectue toujours, cependant sa mise en ล“uvre et sa comprรฉhension ne sont pas simples, cโ€™est pourquoi il y a existe peu de travaux publiรฉs ces derniรจres annรฉes sur ce type de XRT.

Montage de lโ€™expรฉrience

Ce chapitre dรฉveloppe les phases principales du montage de lโ€™expรฉrience servant ร  repรฉrer les difficultรฉs liรฉes ร  la redรฉfinition du banc de topographie. Ici nous effectuerons le prรฉvisionnel des travaux mรฉcaniques et des phases de montage associรฉes. Nous identifierons les parties critiques nรฉcessitant une attention particuliรจre afin dโ€™รฉviter les erreurs de conception et afin dโ€™obtenir un appareil dont les spรฉcificitรฉs sont conformes ร  nos attentes.

Division par partie du projet

Lโ€™ampleur des modifications dans le projet topographie, destine ร  diviser en รฉtages stratรฉgiques les points ร  traiter afin de permettre une avancรฉe logique dans la conception de lโ€™expรฉrience. La prรฉcision et les capacitรฉs de lโ€™appareillage se trouveraient limitรฉes en cas de mauvaise conception. Il est donc important dโ€™identifier les parties critiques et celles qui sont susceptibles dโ€™รชtre modifiรฉes afin de repรฉrer les points possibles dโ€™erreurs.

Prรฉvisionnel de dรฉpart

Pour mieux planifier les travaux de conception dโ€™une part et de montage de lโ€™autre, 6 รฉtapes ont รฉtรฉ identifiรฉes. On dรฉbute par lโ€™aspect sรฉcuritรฉ de lโ€™expรฉrience car elle rรฉgit les limites de lโ€™utilisation des rayonnements ionisants. On continue par la mรฉcanique gรฉnรฉrale puis celle des positionnements dโ€™รฉchantillon et des รฉlรฉments de dรฉtection et de mesure. On sโ€™attache ensuite ร  lโ€™automatisation de lโ€™expรฉrience, garante de la sรฉcuritรฉ et de la prรฉcision de notre future expรฉrience. On termine par des rรฉglages sur mesure et des rรฉadaptations.

Mise en sรฉcuritรฉ

La mise en sรฉcuritรฉ de lโ€™expรฉrience sโ€™inscrit dans la politique du laboratoire de ne plus avoir de zone contrรดlรฉe. Les zones surveillรฉes facilitant le respect des normes de sรฉcuritรฉ et moins contraignante que les zones contrรดlรฉes (accรจs restreint, port de dosimรจtre obligatoireโ€ฆ). Pour cela, lโ€™expรฉrience doit รชtre confinรฉe, ce qui interdit tout rรฉglage manuel sous faisceau.
On dรฉcide donc de mettre en sรฉcuritรฉ lโ€™expรฉrience. Nous en discutons avec la Personne Compรฉtente en Radioprotection (PCR) afin de cloisonner au mieux lโ€™expรฉrience sans gรชner son dรฉroulement. La protection est possible par une enceinte cloisonnant lโ€™expรฉrience. Nous dรฉfinissons, avec la PCR, un cahier des charges qui mรจne ร  la rรฉalisation dโ€™une enceinte de protection (Fi.24), celle-ci coรปte 8kโ‚ฌ ร  la rรฉalisation. Cette enceinte est compatible avec la mise en place dโ€™un banc optique, une table dit ร  nid dโ€™abeilles dโ€™une grande stabilitรฉ et dโ€™une grande planรฉitรฉ. Lโ€™expรฉrience peut maintenant prendre place ร  lโ€™intรฉrieure de cette enceinte qui lui confรจre la sรฉcuritรฉ inhรฉrente aux expรฉriences avec des rayons X en laboratoire.

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Table des matiรจres
Liste des tableaux et figure
Introduction
Chapitre I : Prรฉambule
1) Notion de qualitรฉ cristalline
a) Importance de la qualitรฉ des cristaux
b) Les critรจres de qualitรฉ
c) Caractรฉrisation de la qualitรฉ
2) Topographie aux rayons X
a) Diffraction des rayons X
b) Application ร  la topographie
c) Configurations possibles
3) Origine des contrastes et interprรฉtation des topographies
a) Thรฉorie cinรฉtique des rayons X
b) Approche de la thรฉorie dynamique
c) Interaction des 2 thรฉories
d) Formation des images
4) Rรฉfรฉrences scientifiques
a) Rรฉfรฉrences historiques
b) Travaux actuels
Chapitre II : Phases prรฉparatoires
1) Spรฉcificitรฉs de lโ€™ancien montage
2) Principales รฉvolutions
a) Aspect technique
b) Aspect budgรฉtaire
3) Choix finaux
Chapitre III : Montage de lโ€™expรฉrience
1) Division par partie du projet
a) Prรฉvisionnel de dรฉpart
b) Mise en sรฉcuritรฉ
c) Plan de montage
2) Rรฉalisation des travaux mรฉcaniques
a) Contraintes et plans techniques
b) Conception des piรจces
c) Mรฉtrologie et insertion des composants
3) Rรฉalisation de lโ€™instrumentation
a) Pรฉriphรฉriques et mise en relation avec lโ€™ordinateur
b) Programmation des pilotages
c) Procรฉdures de mesures envisagรฉes
d) Programme Topix
Chapitre IV : Rรฉglages et qualification du systรจme
1) Rรฉglages primaires
a) Choix dโ€™une source et domaine dโ€™application
b) Etalon
c) Prรฉdรฉtermination du zรฉro
2) Qualification du systรจme
a) Balayage angulaire ๏ท : ยซย Rocking-Curveย ยป
b) Caractรฉristiques des translations
c) Premiers essais sur รฉchantillon test de silicium
3) Conclusions
Chapitre V : Premiers essais et rรฉsultats
1) Etude de monocristaux de DKH2PO
4 (KDP Deutรฉrรฉ)
a) Contexte
b) Mesure prรฉalable en topographie synchrotron
c) Essais effectuรฉs en topographie de laboratoire
d) Rรฉsultats, conclusions
2) Essais sur monocristaux de SiC
a) Contexte du SiC
b) Rรฉalisation des mesures
c) Interprรฉtation des clichรฉs, rรฉsultats
Conclusion
Annexes 1
Annexes 2
Annexes 3
Annexe 4
Annexe 5
Lexique
Bibliographie

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